판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS #9096236

ID: 9096236
웨이퍼 크기: 1997
Poly system (2) Chamber Currently installed 1997 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS 원자로는 CVD (Chemical Vapor Deposition) 및 ALD (Atomic Layer Deposition) 에 가장 적합하고 신뢰할 수있는 도구 중 하나입니다. 본격적인 제작이 가능하도록 설계된 첨단 공정 장비 (Advanced Process Equipment) 로, 뛰어난 필름 속성과 성능을 갖춘 고급 필름을 개발할 수 있습니다. AMAT Centura DPS 시스템의 CVD 반응 챔버는 스테인리스 스틸로 구성되며 2 개의 나란히, 수직 장착 석영 공정 튜브로 구성됩니다. 두 튜브 모두 진공 환경으로 둘러싸여 있으며, 총 공정 면적은 최대 8.9 리터입니다. 표준 용광로 장치 (standard furnace unit) 를 사용하여 공정 챔버 내의 온도가 정확하게 유지됩니다. 2 개의 공정 튜브 각각에는 쿼츠 튜브에 통합 된 멀티 존 서셉터 (multi-zone susceptor) 가 포함되어 있습니다. 감지기 (susceptor) 를 개별적으로 제어하여 전체 실행의 온도 프로파일을 결정할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS Centura DPS 머신의 가스 배달은 광섬유, 다중 구역 가스 전달 도구를 통해 관리되며, 각 구역에 고유 한 흐름 속도를 허용하여 균일성을 보장합니다. 이 자산은 또한 통합 증착 모니터링 및 온도, 압력 및 가스 흐름 제어를 특징으로합니다. 이를 통해 제조 중 정확도가 높아지고 균일성을 최적화할 수 있습니다. 또한, Centura DPS 는 디지털 인터페이스를 사용하여 모델 설정, 매개변수, 레시피를 원격 관리할 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS 장비는 뛰어난 필름 속성과 성능을 갖춘 고품질 필름을 제작할 수 있는 견고하고 안정적인 도구입니다. AMAT 센츄라 DPS (Centura DPS) 는 고급기술을 신중하게 설계하고 활용함으로써 뛰어난 균일성과 재현가능한 성능을 지닌 필름을 정확하게 제작할 수 있습니다. 이 시스템은 탁월한 성능의 차세대 영화를 개발하려는 사람들에게 이상적인 선택입니다.
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