판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS #9093380

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS는 차세대 제조 및 기술 개발을위한 독특한 다중 챔버 습식 처리 원자로입니다. 이 원자로에는 여러 개의 챔버 (chamber) 가 장착되어 있어 처리 문제에 혁신적이고 유연한 솔루션을 제공합니다. 원자로는 높은 처리량, 빠른 공정 처리 (quick process turnaround) 및 훌륭한 공정 제어를 이상적인 조합으로 제공합니다. AMAT Centura DPS 원자로는 증착 및 에치 기능이 장착 된 여러 챔버의 조합입니다. 이를 통해 여러 프로세스 단계를 하나의 원자로에 통합 할 수 있습니다. 그것은 2 x 2 시스템에 이상적이며, 하나의 챔버에서 2 개의 증착 프로세스를 수행 할 수 있으며, 다른 챔버에서 2 개의 에치 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 이를 통해 전체 작업 시 신속한 운영 및 즉시 프로세스 매개변수 (process parameter) 를 조정할 수 있습니다. 원자로에는 더 큰 제어, 작동 용이성 및 유지 관리를 위해 몇 가지 기능이 있습니다. 그것은 높은 충실도 로봇 암과 다중 축 동작 제어 시스템을 갖춘 복합 세라믹 라인 진공 챔버 (Consposite ceramic linined vacuum chamber) 를 가지고 있습니다. 진공 챔버 (vacuum chamber) 설계는 우수한 열 관리 및 개선 된 프로세스 제어를 제공하는 반면, 로봇 암과 다중 축 동작 제어는 우수한 웨이퍼 처리 및 프로세스 제어를 제공합니다. 고성능 RF 생성기, 광학 방출 분광법 (optical emission spectroscopy) 과 같은 다른 기능은 뛰어난 프로세스 균일성과 반복성을 보장합니다. 원자로 는 대형 기판 을 처리 하는 능력 을 가지고 있으며, 처리 시간 은 최고 분 이다. 또한 그 시간의 일부에서 작은 기판을 처리 할 수 있습니다. 이는 효율이 높은 프로세싱 챔버 설계와 최적화된 RF 전원 공급 시스템 때문입니다. 저량 생산 및 연구 및 개발 응용 분야에 적합합니다. APPLIED MATERIALS Centura DPS 원자로는 연구원과 제조업체 모두에게 다재다능하고 강력한 도구입니다. 높은 처리량, 일관된 증착률, 탁월한 열 관리로 탁월한 프로세스 제어를 제공합니다. 다양한 프로세스 작업을 처리할 수 있는 유연한 솔루션을 제공합니다 (영문). 원자로는 대량의 생산, 연구, 개발에 이상적이며, 효율성이 높고, 빠르고, 안정적입니다.