판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS #293792493
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AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS 원자로는 마이크로 전자 공정에 박막 재료를 증착하기위한 혁신적인 도구입니다. 이 장비는 다양한 박막 재료를 증착하기 위해 사용이 간편한 마이크로 제작 프로세스를 제공합니다. 이 시스템은 다용도, 모듈식 설정 (modular setup) 을 갖추고 있어 효율적이고 정확한 박막 증착 및 처리를 지원합니다. 원자로는 고온, 고진공 공정 챔버를 사용하여 일관되고 반복 가능한 박막 증착 공정 성능을 제공합니다. AMAT Centura DPS 원자로는 멀티 챔버, 멀티 스텝 유닛으로 설계되었으며 프로세스 모듈, 컨트롤러 및 증착실을 포함합니다. 프로세스 모듈 (process module) 과 컨트롤러 (controller) 는 박막 증착 프로세스를 설정하고 제어하는 데 사용됩니다. 프로세스 모듈에는 자동 증기 전달, 동작, 온도 및 압력 제어 시스템이 포함됩니다. 컨트롤러는 증착주기를 프로그래밍하고 레시피를 저장할 수 있습니다. 증착실은 처리 중 기판을 수용하는 데 사용됩니다. 이 제품은 현장 (in-situ) 측정 기능을 갖추고 있어 증착 프로세스 조건을 모니터링하고 추적할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS Centura DPS 원자로는 첨단 강력한 증착기로, 미크론 이하의 고정밀 박막 제작에 이상적입니다. 이 도구를 사용하면 프로세스 사이클을 신속하게 조정하고, 즉석 레시피를 실행하여, 최고의 프로세스 제어를 통해 높은 처리량을 생산할 수 있습니다. 사용이 간편한 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 가 특징입니다. 자산은 실리콘 기반 재료, 유기농 등 다양한 박막 재료를 증착 할 수 있습니다. Centura DPS 원자로는 빠른 기판 적재 및 하역, 증착 균일 성, 낮은 오염률, 일관된 박막 품질 등 몇 가지 주목할만한 이점을 제공합니다. 원자로에는 프로세스 매개변수 (parameter) 와 프로세스 성능 (process performance) 을 모니터링하고 기록하는 자동화된 오류 제어 모델도 포함되어 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS 원자로는 직관적이고, 효율적이며, 정교한 증착 장비로, 사용자에게 최고의 공정 제어 및 박막 증착의 정밀도를 제공합니다. 탁월한 반복 능력을 갖춘 서브미크론 박막 (sub-micron thin film) 의 높은 처리량 생산을 가능하게 하며, 다양한 제작 프로세스에 안정적이고 경제적인 솔루션을 제공합니다.
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