판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS #293603772

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS (Deposition Process Equipment) 원자로는 다양한 반도체 및 기타 전자 제품에 사용되는 박막 증착에 사용되는 고급 반도체 제작 도구입니다. 이 시스템은 뛰어난 등각 범위의 웨이퍼 (wafer) 및 기타 기판에 고품질 박막 (thin film) 을 배치하는 데 사용됩니다. 이것은 특정 유속 (flow rate) 과 압력 (pressure) 에서 공정 가스 화학 물질을 기질 표면에 전달함으로써 수행된다. "가스 '의 흐름 을 조절 하는 능력 은" 가스' 흐름 모양 이 공정 전체 에 걸쳐 정확 하게 유지 되고, 그 결과 균질 한 증착 이 된다. 증착 과정은 증착에 마그네트론 쌍을 사용합니다. 웨이퍼 (wafer) 와 기판 홀더는 모두 x-y-z 축에서 일제히 움직이며, 웨이퍼는 안정적인 웨이퍼 온도를 위해 진공 척 (vacuum chuck) 으로 고정됩니다. 그런 다음, "웨이퍼 '를 공정" 가스' 에 노출 시켜서 반응 을 일으켜 원하는 "필름 '을 만든다. AMAT Centura DPS 원자로는 전원, 가스, 유체 공급 시스템으로 설계되어 프로세스 매개변수를 정확하게 제어할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS Centura DPS (APPLIED MATERIALS Centura DPS) 원자로는 배치 내에서 높은 수준의 반복성을 달성하는 한편, 원하는 필름 품질을 얻을 수 있는 안정적인 환경을 제공합니다. 장치의 AQC (inline automated quality control machine) 는 전체 증착 프로세스를 통해 기판을 모니터링합니다. 이는 반사도, 오버레이, 두께, 서피스 거칠기와 같은 웨이퍼 특성을 측정하여 수행됩니다. AQC는 또한 자동 프로세스 최적화, 필름 스트레스 제어, 자동 결함 검사, 분류 등의 추가 이점을 제공합니다. Centura DPS 원자로는 다른 증착 시스템에 비해 많은 이점을 가지고 있습니다. 여기에는 유기 (organics), 무기 (organganics) 등 다양한 재료를 처리하고, 현장에서의 모니터링 및 프로세스 최적화를 위해 웨이퍼 자체를 사용하는 기능이 포함됩니다. 또한, 원자로는 금속, 유전체, 절연체 (insulator) 와 같은 다양한 종류의 필름의 증착과 다양한 기하학적 피쳐 크기에 사용될 수있다. AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS 원자로는 반도체 및 기타 전자 제품 제조에 이상적인 선택입니다.