판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS #198321

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS 도구는 생산 규모 및 연구 검증 된 화학 증기 증착 (CVD) 원자로입니다. 원자로는 생산성 (production-ready fab) 수준의 생산성에서 광범위한 재료 및 응용을위한 고급 플라즈마 강화 (plasma-enhanced) 증착 플랫폼을 제공합니다. AMAT Centura DPS 장비는 저압, 혁신적인 증착실 및 플라즈마 발전기를 갖춘 탁월한 증착 기능을 제공합니다. 증착 챔버 압력은 최적의 프로세스 선택성을 위해 조정 될 수 있으며, 펄스 변조, 프로그래밍 가능한 파형 생성기는 고유 한 플라즈마 소스를 정확하게 튜닝 할 수 있습니다. 추가적인 이점으로, 시스템은 화학, 원자층, 물리적 증기 증착 등 반응성 및 비 반응성 프로세스를 지원할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS Centura DPS 장치는 여러 평면의 주소 지정 기능을 갖춘 고급 다중 구역 원자로 설계를 갖추고 있습니다. 이것은 전체 기판 표면에 걸쳐 균일 한 공정을 제공하며, 전례없는 피쳐 재생성 (reprodibility) 을 제공합니다. 원자로의 다재다능성은 광범위한 기판 크기에서 유전체, 반도체, 금속의 증착을 허용한다. Advanced Load-Locker Technology 및 True In-Situ Process Control을 사용하여 Centura DPS 머신은 재생성이 높은 모든 재료를 정확하게 증착합니다. 직관적 인 그래픽 사용자 인터페이스를 통해 연산자가 증착 매개변수 (deposition parameters) 에서 가스 흐름 속도 (gas flow rate) 및 압력 (pressure) 에 이르기까지 전체 프로세스를 제어할 수 있습니다. 이를 통해 정확하고 반복 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS 도구의 고급 프로세스 성능도 더 높은 처리량에 최적화되어 있습니다. 이 고급 자산은 원격 모델 제어 (Remote Model Control) 및 고급 데이터 분석 (Advanced Data Analysis) 도 지원하므로 오늘날의 운영 환경에 유연성과 높은 수준의 효율성을 제공합니다. AMAT Centura DPS 장비의 이점은 다양합니다. 시스템의 다양성, 단순성, 처리량은 일관되게 재현 가능한 결과와 더 높은 정도의 프로세스 정확도를 제공합니다. 또한, 이 장치는 매우 높은 진공 수준을 제공하여 프로세스를 최적으로 제어하고 재현할 수 있습니다. 이를 통해 비용을 절감하는 동시에 최대의 수익률과 유연성을 확보할 수 있습니다.