판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS Poly #9293858

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS Poly Reactor는 다양한 연구 및 산업 응용 분야에 이상적인 CVD (High-Performance, Automated Chemical Vapor Deposition) 장비입니다. 원자로 (reactor) 는 다양한 기판 및 공정 조건을 사용할 수있는 모듈 식 설계를 특징으로합니다. AMAT Centura DPS Poly Reactor는 금속, 폴리 실리콘 및 산화물 필름뿐만 아니라 두께, 균일성 및 조성을 정확하게 제어 할 수있는 다층 필름을 증착 할 수 있습니다. 원자로의 고급 공정 챔버 (advanced process chamber) 는 단순하고 인체 공학적 설계로 매우 높은 진공 수준을 빠르고 정확하게 달성 할 수 있습니다. 고온 노출을 방지하기 위해 무거운 쿼츠 (heavy-duty quartz) 냉벽이 특징이며, 벽에는 최대 수명을 위해 특별한 부식 방지 재료가 코팅되어 있습니다. 원자로에는 여러 웨이퍼 크기를 쉽게 적재 및 언로드할 수 있는 자동화된 웨이퍼 (wafer) 전송 모듈도 포함되어 있습니다. APPLIED MATERIALS CENTURA DPS + POLY Reactor는 온도, 압력, 강착률, 도펀트 농도 등 프로세스 매개 변수를 정확하고 반복적으로 제어 할 수있는 최첨단 제어 시스템을 갖추고 있습니다. 이 장치는 다양한 필름 유형 (film type) 과 레이어 (layer) 를 수용하도록 프로세스 레시피를 쉽게 조정할 수 있도록 유연성을 위해 설계되었습니다. 원자로에는 또한 1E-7 Torr 정도의 압력을 얻을 수있는 강력한 진공기가 있습니다. 또한, 이 원자로는 수직 및 측면 웨이퍼 감수성, 컬러 터치스크린 디스플레이, 직관적인 소프트웨어 인터페이스 등의 고급 기능으로 사용자 정의가 가능합니다. 또한 프로세스 반복성 (process repeatability) 과 균일성 (unifority) 에 맞게 최적화된 광범위한 기본 레시피 라이브러리가 제공됩니다. APPLIED MATERIALS Centura DPS Poly Reactor는 다양한 기능, 정확한 제어, 긴 서비스 수명으로 인해 다양한 연구 및 산업 응용 분야에 이상적인 도구입니다. 그것 은 어떤 실험실 이나 생산 시설 에 귀중 한 자산 으로서, 속도 와 정확도 로 "필름 '을 입금 해야 한다.