판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS Poly #293813384

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS Poly Reactor는 다결정 필름의 정확한 증착을 위해 특별히 설계된 효율적이고 신뢰할 수있는 도구입니다. 이 도구는 초박형 산화물 필름 증착 장비의 성능과 Applied Centura 플랫폼의 유연성을 결합하여 증착 파라미터 (deposition parameter) 나 필름 (films) 에 관계없이 정확하고 반복 가능한 결과를 제공합니다. AMAT Centura DPS Poly Reactor는 마이크로 일렉트로닉 응용 프로그램에 사용할 필름 증착을위한 정확하고 신뢰할 수있는 도구입니다. 이 플랫폼은 정확한 필름 증착에 최적화 된 AMAT Centura 500 Cx 플랫폼을 기반으로합니다. 이 플랫폼은 각 증착 실행에 대해 정확하고 반복 가능한 결과를 제공하기 위해 최적의 플라즈마 처리 (plasma processing) 및 가변 필름 증착 (variable film deposition) 조합을 제공 할 수 있습니다. 여기에는 정확하고 반복 가능한 이온화 폴리머 증착을 제공하는 고압 광선 방전원 (high-pressure glow discharge source) 과 플라스마 처리, 가변 필름 증착 및 밀도의 균일 성을 자동화하는 정교한 로봇 공학이 포함됩니다. 이 플랫폼은 고압 광선 방전 소스 (How-Pressure Glow Discharge Source) 외에도 증착전 진단 시스템 (Pre-deposition Diagnostic System) 및 온도 프로파일 제어 (Temperation Profile Control) 기능을 제공하여 실시간 온도 프로파일링 제어 장치로 기판 표면을 모니터링 할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS CENTURA DPS + POLY Reactor는 고 체적 검출기 및 원자로 기계로, 정확하고 반복 가능한 필름 성장률을 제공합니다. 센츄라 (Centura) 플랫폼을 사용하면 압력과 처리 조건을 즉시 조정하여 원하는 결과를 신속하고 정확하게 달성할 수 있습니다. 이 플랫폼은 또한 다중 RF 전원 공급 장치, 최적화 된 챔버 형상 및 펄스 플라즈마 주입 (pulsed plasma injection) 을 통해 처리 효율성을 극대화하는 고급 챔버 설계를 갖추고 있습니다. 이 도구는 또한 증착 온도 (deposition temper) 와 압력 (pressure) 을 정확하게 제어하여 수동 조정이 필요하지 않습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA DPS + POLY Reactor는 다결정 필름 증착을위한 다재다능하고 신뢰할 수있는 도구입니다. 그것은 마이크로 일렉트로닉스 산업에서 다양한 응용 용도로 다결정 필름 (polycrystalline film) 의 증착을 위해 특별히 설계되었습니다. 자산은 신뢰성이 높으며 증착 파라미터 (deposition parameters) 나 필름 (film) 에 관계없이 정확하고 반복 가능한 결과를 제공합니다. 이 플랫폼은 단시간 내에 고품질의 다결정 필름 (polycrystalline film) 을 제공 할 수 있으며, 고급 챔버 디자인은 밀도의 효율적인 처리 및 균일성을 보장합니다.