판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II #9243879

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS II는 연구 및 생산 응용 프로그램 모두를 위해 설계된 고기능 및 고급 산화 처리 장비입니다. 이 원자로는 등각 이종 접합 프로세스를 위해 특별히 설계되었으며, 우수한 공정 제어를 제공합니다. 그것의 디자인은 고-k 유전체, 금속, 중합체 등의 증착을 포함하여 다양한 응용 분야에서 박막 (thin film) 의 균일 한 증착을 허용한다. AMAT 센츄라 DPS II (Centura DPS II) 의 챔버는 저열 질량 스테인레스 스틸로 만들어져 기판 표면에 걸쳐 최소한의 열 확산을 초래합니다. 이 시스템에는 입자 및 산란 손실을 최소화하도록 설계된 외부 열 차폐 (Outer Heat Shield) 가 장착되어 있으며, 내부는 고온에서 입자 방출을 줄이기 위해 마감 상태가 매우 광택이 있습니다. 이 장치에는 또한 2 개의 로드 락이 있으며, 이를 통해 더 빠른 로드 및 언로드 주기가 가능합니다. APPLIED MATERIALS CENTURA DPS + II에는 고급 엔드 포인트 감지 머신 (endpoint detection machine) 이 있어 실행 중 레시피 튜닝 및 모니터링이 필요하지 않습니다. 이 도구는 강력한 복사 돔 및 슬롯 형 유도 소스로 높은 난방 성능을 제공합니다. 이를 통해 최대 1000 ° C의 빠른 가열을 허용하고 프로세스 전체에서 균일 한 온도를 보장합니다. 자동 실행 및 유지 보수 터보 펌프 (Silent Running and Maintenance Turbo Pump) 는 처리 중 가스 흐름과 정밀 압력 수준을 정확하게 제어합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA DPS + II 전원 공급 장치 컨트롤러에는 처리 매개변수 설정 및 모니터링에 사용되는 FPI (Front Panel Interface) 가 포함되어 있습니다. 이 컨트롤러는 프로세스 균일성 (unifority) 과 반복성 (repeatability) 을 향상시키면서 매개변수를 쉽고 빠르게 튜닝할 수 있습니다. 적응 형 감마 제어 (Gamma Control) 알고리즘을 사용하면 플라즈마 매개변수와 빠른 측정 및 피드백을 정확하게 제어하여 증착 중에 원하는 기판 조건을 유지할 수 있습니다. AMAT CENTURA DPS + II는 연구 및 생산 응용 분야에 이상적인 선택입니다. 고급 설계 및 기능 덕분에, 이 자산은 탁월한 프로세스 제어, 향상된 균일성, 빠른 로드/언로드 주기를 제공합니다. 또한, 강력한 난방 및 가스 제어 기능과 고급 엔드 포인트 탐지 (endpoint detection) 는 현대 산화 과정에 귀중한 도구입니다.