판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II #9213956

AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II
ID: 9213956
웨이퍼 크기: 8"
Metal etcher, 8".
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS II는 혁신적이고 신뢰할 수있는 확산 및 원자로 장비로, 반도체 산업의 고급 재료 처리를 제공합니다. 최대한의 출력과 효율성을 갖춘 높은 처리량을 제공합니다. AMAT Centura DPS II는 여러 유형의 처리에 사용할 수있는 챔버가있는 멀티 챔버 시스템입니다. 이 챔버 (chamber) 는 특정 처리 요구 사항을 충족시키기 위해 가스 (gase) 를 제한하거나 확장하고 압력을 가하도록 구성 될 수 있습니다. 이득 된 벨로우 (bellow) 기술은 우수한 온도 균일성을 제공하여 빠른 온도 램프와 정확한 온도 조절을 가능하게합니다. 통합 가스 분사 장치 (integrated gas injection unit) 는 챔버 전체에 가스의 정확하고 균일 한 분포를 허용합니다. 또한, 자동 온도 프로파일링은 재생 가능한 결과와 일관된 필름 균일성을 보장합니다. 응용 재료 센츄라 DPS + II (APPLIED MATERIALS CENTURA DPS + II) 에는 히터 블록에 웨이퍼를 정렬하기위한 빠른 웨이퍼 전송 보트 및 비전 머신과 같은 많은 고급 기능이 장착되어 있습니다. 고정밀 제어 드라이브 (high-precision control drive) 도구는 뛰어난 프로세스 반복성을 제공하는 반면, 흑연 하중 암은 향상된 기계적 안정성을 제공합니다. 또한, DPS II는 최대 1,100 ° C (2,012 ° F) 의 온도 범위로 초박막 응용 프로그램의 고온 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 또한 자산의 고급 유전체 RF 버퍼링 기술은 RF 일치 네트워크를 쉽게 튜닝 할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS Centura DPS II (APPLIED MATERIALS Centura DPS II) 는 반도체 업계의 다양한 애플리케이션에 적합한 고품질 필름을 제작하기 위한 안정적이고 비용 효율적인 도구입니다. 고급 기능과 유연성을 갖춘 이 모델은 탁월한 프로세스 반복성 (repeatibility) 과 안정적인 성능을 제공합니다. 이 원자로는 극단적 인 균일성 (unifority) 과 공정 (process) 의 정확성이 필요한 현대 재료 처리 요구에 적합한 솔루션으로 입증되었습니다.
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