판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II #9189889
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ID: 9189889
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2007
Poly etcher, 12"
(4) Chambers:
(3) DPS II
Poly
Axiom
Chamber configuration:
Chamber A:
Chamber model: DPS II
Bias generator: AE APEX 1513, 13.56 MHz, Maximum 1500 W
Bias match: AE, 13.56 MHz,3 kV navigat
Source generator: AE APEX 3013, 13.56 MHz, Maximum 3000 W
Source match: AE, 13.56 MHz,6kV navigat
Lid: Ceramic lid, dual gas nozzle
Turbo pump: EDWARDS STP-A3003CV
Throttle valve: VAT pendulum valve DN-320
FRC: MKS FRCA-52163310, 500/500 1/4VCR
ESC: Dual zone ceramic ESC
Endpoint type: EyeD IEP
Cathode chiller: SMC POU
Wall chiller: SMC INR-496-016C
Process kits coating: Anodize coating
Cooling: HT 200 / FC 40
Chamber B:
Cathode chiller: SMC POU
Chamber C:
Cathode chiller: SMC POU
Wall chiller: SMC INR-496-016C
Chamber D:
Chamber model: AXIOM
Source generator: 5000 W
Source match: AE match (RF System)
Throttle valve: Throttling gate valve
ESC: Pedestal heater
Mainframe configuration:
IPUP Type: ALCATEL A100L
Gas panel type: Standard
VHP Robot: Dual blade
MF PC type: CPCI
Factory interface configuration:
Frontend PC type: 306 Server
FIC PC type: 306 Server
(3) Load ports
Atmospheric robot: KAWASAKI Single fixed robot (A3 Type)
Side storage: Right / Left side
MFC Configuration
Chamber A:
Gas line Gas name Max flow MFC Type
Gas 1 CL2 300 DSPGD1XM
Gas 2 NF3 50 DSNGD1XM
Gas 3 SF6 100 DSPGD1XM
Gas 4 HBR 500 DSRGD1XM
Gas 5 N2 20 DSLGD1XM
Gas 6 N2 200 DSPGD1XM
Gas 7 O2 50 DSMGD1XM
Gas 8 O2 400 DSPGD1XM
Gas 9 HE 500 DSPGD1XM
Gas 10 CHF3 200 DSPGD1XM
Gas 11 CF4 300 DSRGD1XM
Gas 12 AR 500 DSPGD1XM
Chamber B:
Gas line Gas name Max flow MFC Type
Gas 1 CL2 300 DSPGD1XM
Gas 2 NF3 50 DSNGD1XM
Gas 3 SF6 100 DSPGD1XM
Gas 4 HBR 500 DSRGD1XM
Gas 5 N2 20 AALGD40W1
Gas 6 N2 200 DSPGD1XM
Gas 7 O2 50 DSMGD1XM
Gas 8 O2 400 DSPGD1XM
Gas 9 HE 500 DSPGD1XM
Gas 10 CHF3 200 DSPGD1XM
Gas 11 CF4 300 DSRGD1XM
Gas 12 AR 500 DSPGD1XM
Chamber C:
Gas line Gas name Max flow MFC Type
Gas 1 CL2 300 DSPGD1XM
Gas 2 NF3 50 DSNGD1XM
Gas 3 SF6 100 DSPGD1XM
Gas 4 HBR 500 DSRGD1XM
Gas 5 N2 20 AALGD40W1
Gas 6 N2 200 DSPGD1XM
Gas 7 O2 50 DSMGD1XM
Gas 8 O2 400 DSPGD1XM
Gas 9 HE 500 DSPGD1XM
Gas 10 CHF3 200 DSPGD1XM
Gas 11 CF4 300 DSRGD1XM
Gas 12 AR 500 DSPGD1XM
Chamber D:
Gas line Gas name Max flow MFC Type
Gas 5 N2 1000 DSSGD1XM
Gas 7 4%H2/N2 5000 DSVGD1XM
Gas 8 O2 10000 DSVGD1XM
2007 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS II (AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS II) 는 가전 제품 및 자동차 부품, 항공 우주 부품 및 의료 기기에서 광범위한 제품 생산을 위해 다양한 프로세스를 수행하는 데 사용될 수있는 고급 공정 원자로 장비입니다. 이 시스템은 유연하고 안정적인 처리 기능을 제공하도록 설계되었으며, 운영 주기의 일관성 있고 효율적인 관리 (management of production cycle) 를 지원합니다. AMAT Centura DPS II는 스테인리스 스틸 (stainless steel) 과 같은 고품질 재료를 사용하여 긴 수명을 보장합니다. 원자로 챔버, 피드 컵, 공구 컵, 배기 흐름 제어 장치 및 드라이브 제어 장치 인 5 개의 주요 구성 요소로 구성됩니다. 원자로 챔버 (reactor chamber) 는 화학 반응에 대한 최적의 환경 및 온도를 제공하고 부식성 증기로부터 보호하기 위해 비활성 대기를 제공하도록 설계되었습니다. 피드 컵 (feed cup) 에는 가공 공구에 원료를 도입하는 데 사용되는 피드 머신 (feed machine) 이 장착되어 있습니다. 공구 (tool) 컵은 정밀 공구와 액세서리를 보관하는 데 사용되며, 이 공구는 공정의 성공적인 완료에 필요합니다. 배기 흐름 제어 장치 (Exhaust Flow Control Device) 는 원자로 실에서 방출되는 가스와 증기의 양을 제어하여 안전 수준 (Safe Level) 으로 유지된다. 마지막으로, 드라이브 제어 자산 (drive control asset) 은 원자로 이동의 속도를 조절하고 정확한 온도 조절을 위해 사용됩니다. APPLIED MATERIALS CENTURA DPS + II에는 운영자와 모델 자체를 보호하는 많은 안전 기능이 포함되어 있습니다. 이러한 안전 기능에는 비상 차단 스위치, 압력 모니터링 장비, 산소 모니터링 시스템 및 비활성 가스 모니터링 장치 (inert gas monitoring unit) 가 포함됩니다. 또한, 시스템의 소프트웨어는 작업 중에 발생할 수 있는 장애나 위험을 신속하게 파악하는 데 도움이 되는 자세한 진단 (Detailed Diagnostics) 을 표시할 수 있습니다. AMAT CENTURA DPS + II (AMAT CENTURA DPS + II) 는 제품을 생산하기 위해 다양한 프로세스를 수행 할 수있는 고급적이고 안정적인 도구입니다. 견고한 디자인과 포괄적인 안전 (Safety) 기능을 통해 모든 제조 환경에 이상적인 선택이 가능합니다.
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