판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II #9188294

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS II는 고급 열 고밀도 플라즈마 원자로입니다. 에피 택시 (epitaxy), CVD, ALD 및 ALOx 코팅 등과 같은 고 에너지 전자 빔이 필요한 다양한 플라즈마 증착 프로세스에 대해 높은 증착률을 제공하도록 설계되었습니다. AMAT Centura DPS II는 최첨단 물리 및 화학 증기 증착 기능을 제공합니다. 원자로에는 균일 한 분포 및 비 균일 한 분포를 모두 허용하는 고급 멀티 그리드 (multi-grid) 전자 소스와 큰 기판 압력 범위가 장착되어 있습니다. 원자로는 또한 최대 7 개의 개별 테스트 가스 라인을 지원하는 독립적 인 가스 흐름 제어 장비를 갖추고 있습니다. APPLIED MATERIALS CENTURA DPS + II는 빠르고 효율적인 시동, 종료, 다운타임 단축을 위해 완전 자동화된 챔버 클리닝 프로세스를 제공합니다. 효율적인 표면 처리 프로세스에는 자동 가스 흐름 모니터와 멀티 존 (multi-zone) 압력 센서가 포함됩니다. 이를 통해 산소, 아산화질소, 일산화탄소, 염소 및 트리클로로 실란과 같은 공정 가스를 갖는 증착 과정이 발생할 수 있습니다. 원자로 (Reactor) 의 제어 및 데이터 획득 시스템은 프로세스 모니터링 및 데이터 로깅 기능을 제공하도록 설계되었습니다. 또한, 원자로는 맞춤형 레시피를 사용하여 최적의 열 제어, 균일 한 증착 및 재증착을 보장합니다. 이 장치는 유연하고 단단한 기판 모두에 최적의 균일성 (unifority) 과 증착을 제공 할 수 있습니다. 이것은 기판의 다양한 영역에 균일 한 증착을 보장하며, 최고의 수율을 보장합니다. AMAT CENTURA DPS + II 원자로에는 기질 오염 및 분해 위험을 최소화하는 비활성 가스 백 사이드 배기 (inert gas back side exhaust) 기능이 장착되어 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA DPS + II는 반도체 업계에서 소형 전자 장치 포장을위한 박막 (thin film) 을 만드는 등 다양한 응용 분야에 사용될 수 있습니다. 다중 구역 증착기 (multi-zone deposition machine) 와 광범위한 증착 가스를 통해 연구원은 상당한 제조 생산성 및 공정 견고성을 달성 할 수 있습니다. 이 공구에는 원자로 안전 가동 (Safe Operation of the Reactor) 과 유해 프로세스 회피 (Avoid of Hazardous Process) 를 보장하는 안전 기능도 갖추어져 있습니다.