판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II #9116830

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS II 원자로는 다양한 고급 처리 작업에 사용되는 반도체 제작 도구입니다. 이 장비는 수요가 많고 복잡한 프로세스 단계를 위해 견고하고 성능이 뛰어난 프로덕션 플랫폼을 제공합니다. 원자로의 주요 기능 구성 요소에는 공정 챔버, 고압 터보 분자 펌프, 저압 이온 펌프, 동결 보호 트랩 및 제어 플랫폼이 포함됩니다. 공정 챔버는 다중 웨이퍼 처리의 높은 처리량을 위해 설계되었습니다. 에치 및 증착 구성 요소가 통합 된 절연 스테인리스 스틸입니다. 고압 터보 분자 펌프 (turbomolecular pump) 는 챔버 내에서 안정적이고 단단한 진공을 유지하여 다중 웨이퍼 처리를 가능하게하기 위해 사용됩니다. 우수한 서비스와 빠른 현장 재생으로 높은 펌핑 속도를 제공합니다. 저압 이온 펌프는 처리 중 광학 부품을 지원하는 데 사용됩니다. 균일성 및 프로세스 안정성이 향상되었습니다. 냉동 보호 트랩은 냉동 응축재 (frozen condensate) 의 축적으로 인해 부식으로부터 시스템 구성 요소를 보호하도록 설계되었습니다. 제어 플랫폼은 직관적인 사용자 친화적 인터페이스로, 효과적인 프로세스 성능을 제공합니다. 고속 RF 바이어싱 (biasing) 및 펄스 전원 (pulsed power) 을 포괄적으로 제어하여 전력 소비를 최소화하면서 뛰어난 품질의 증착을 제공합니다. 이 플랫폼에는 통합 압력 제어 장치 (Pressure Control Unit), 온도 제어 기계 및 포괄적 인 안전 연동 도구가 포함되어 있습니다. 요약하면, AMAT Centura DPS II 원자로는 반도체 제조를위한 강력하고 고성능 솔루션을 제공합니다. 구성 요소와 제어 플랫폼이 통합되어 있어 복잡하고 까다로운 프로세스 단계에 가장 적합한 솔루션입니다 (영문).