판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS II Mesa T2 #9284376
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AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS II Mesa T2는 반도체 제조를 위해 특별히 설계된 반자동 생산 급 원자로입니다. 장치 제조를위한 포토 esist, 증착, 에칭 및 표면 처리 프로세스를 수행하기위한 고급 멀티 챔버 장비입니다. 이 시스템은 4 개의 개별 공정 챔버로 구성되며, 각각 최대 12 "직경 200mm 웨이퍼 기판을 수용 할 수 있습니다. 이 장치에는 2 단계 로봇 암 (robotic arm) 이 장착되어 챔버에서 기판을 삽입 및 제거 할 수 있습니다. 이 "로봇 '암 은 수동 장전실 (loadlock) 에 의하여 보완 되는데, 그것 은 그 들 의" 컨테이너' 에서 "웨이퍼 '를 적재 및 언로드 하는 데 사용 할 수 있다. AMAT Centura DPS II Mesa T2에는 또한 각 챔버에 5 분 동안 최대 8 Torr의 압력을 달성 할 수있는 빠른 압력 제어 기계가 포함되어 있습니다. 또한, 도구 전체의 정밀 히터 제어는 섭씨 30 ~ 350도 범위의 온도를 달성 할 수 있습니다. 또한 APPLIED MATERIALS Centura DPS II Mesa T2는 운영자가 펌프의 재순환 오류를 식별하고 오염 가능성을 줄이고 예방 유지 관리를 단순화하는 정교한 유지 관리 자산을 보유하고 있습니다. 이 모델은 종합적인 진단 시스템, 전체 이벤트 로그, 온보드 부품 키트를 사용하는 사용자를 지원합니다. 또한, 이 장비를 통해 운영자는 반응물 메이크업 (reactant makeup) 을 업그레이드하고 모니터링하고 원격으로 처리할 수 있습니다. 마지막으로 Centura DPS II Mesa T2는 SEMI E12 및 SEMI S2와 같은 업계 표준을 준수합니다. 이 "시스템 '은 청정실 과 호환 되도록 설계 되었으며, 통풍기 와 배기" 스크러버 머신' 을 갖추고 있다. 설치 공간이 작아 쉽게 설치할 수 있으며, 고객의 요구에 맞게 Tool을 맞춤형으로 구성할 수 있습니다 (영문).
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