판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS G5 #9379820

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS G5는 생산성을 극대화하고 비용을 절감하도록 설계된 고성능 원자로입니다. DPS (Dual Plasma Source) 기술을 활용하는 단일 웨이퍼, 높은 생산성, 인라인 장비입니다. 이 시스템은 이중 주파수, RF 구동 플라즈마 소스를 기반으로하며, 높은 압력 및 온도에서 고밀도 플라즈마를 생성 할 수 있습니다. DPS 기술은 웨이퍼를 가로 질러 플라스마의 다양한 가스 프로파일 분포를 만드는 데 도움이됩니다. 이중 가스 분사 장치 (Dual-gas Injection Unit) 는 균일성과 패턴화를 보장하고 웨이퍼 전체에 걸쳐 에치 균일성을 증가시키는 데 도움이됩니다. 이 기계에는 일관된 프로파일을 유지하는 데 도움이 되는 통합 플라즈마 모니터링 (Plasma Monitoring) 및 제어 도구 (Control Tool) 도 있습니다. 원자로 (Reactor) 는 모듈식 아키텍처 (Modular Architecture) 로 설계되어 다양한 프로세스 요구 사항을 충족하도록 구성 및 재구성됩니다. 이 모듈식 설계는 또한 다운타임을 줄이고 프로세스 개발을 가속화하는 데 도움이 됩니다. 원자로는 또한 저압 공정 (Low Pressure Process) 에서 고압 공정 (High Power Process) 에 이르기까지 광범위한 공정 능력을 가지고 있습니다. 또한 모듈식 (Modular) 설계를 통해 여러 가지 구성과 프로세스 옵션을 사용할 수 있으므로 운영 및 개발에 이상적인 툴이 됩니다. AMAT Centura DPS G5는 와퍼 전체에서 높은 정확도, 높은 처리량, 균일성이 필요한 고급 어플리케이션에 이상적인 도구입니다.