판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS G5 #9352797
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ID: 9352797
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2011
Etcher, 12"
Mesa
(3) Poly chambers
Axiom chamber
2011 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS G5 Reactor는 박막 구조의 증착 및 에치에 사용되는 고성능 열 처리 장비입니다. 원자로 (reactor) 는 프로세스 변동성, 균일성 및 반복성이 성공의 중요한 요소인 응용 프로그램을 위해 설계되었습니다. G5 는 검증된 기술을 활용하여 정확하고, 반복 가능하며, 신뢰할 수 있는 프로세스 결과를 제공합니다. AMAT Centura DPS G5 Reactor는 각 챔버에 대한 디지털 온도 명명자와 최대 1200 ° C까지 작동 할 수있는 다중 구역, 가스 보호, 특수 코어 열 분산기를 통해 온도 제어를 특징으로합니다. 고효율 펌프 및 균일 한 에치 분포 (etch distribution) 는 프로세스 반복성 및 고수율에 필요한 안정적인 프로세스 조건을 제공합니다. 원자로에는 자동 청소 절차를 통해 유지 보수를 줄이는 자동 청소 (Auto-Clean) 기능이 장착되어 있습니다. 업계 최고의 Deposition and Etch 균일성은 각 플라즈마 챔버에 대한 고균일 광학 디자인을 통해 달성되며, 이는 비대칭 플라즈마 배포로 인해 비균일 성을 방지합니다. 각 공정 챔버에는 기존 패러데이 (Faraday) 쉴드 또는 자기 차폐 벽이 장착되어 있어 에치 균일성을 최대화합니다. 크로스 챔버 (cross-chamber) 혼합물 전달 시스템은 재생 가능한 증착 형상을 보장하기 위해 고도로 반복 가능한 공정 가스를 제공하도록 설계되었습니다. 응용 재료 센츄라 DPS G5 반응기 (APPLIED MATERIALS Centura DPS G5 Reactor) 는 모든 처리 작업에 대해 저소음 작동을 특징으로하며 방출되는 입자와 오염 물질을 최소 유지하기 위해 좁은 작동 온도 봉투를 유지합니다. 원자로는 안전성을 염두에두고 설계되었으며, 폭발성 가스를 포함하도록 설계된 1 개의 가스 입구 및 1 개의 가스 콘센트 장치, 비상 정지 버튼, 공정 중단 (process-out-of-control) 조건이 감지되면 기계를 즉시 차단하기위한 신속한 비상 차단 밸브, 과열 방지 온도 융합 도구. Centura DPS G5 Reactor는 정확성과 신뢰성이 필요한 최첨단 열 처리 어플리케이션에 이상적인 선택입니다. 원자로 (Reactor) 는 고성능 기능 덕분에 뛰어난 처리 결과를 지속적으로 제공할 수 있으며, 고급 열 처리 (thermal processing) 요구 사항에 이상적인 제품입니다.
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