판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS G5 #9309116

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS G5는 고급 나노 미터 구조 및 장치 기능의 대량 생산을 위해 설계된 전용 플라즈마 원자로입니다. 단일 클러스터 지원 장비에 표면 활성화 및 플라즈마 증착의 2 가지 진공 처리 기술을 결합한 일체형 (All-in-one) 독립형 플랫폼입니다. AMAT Centura DPS G5 원자로는 저압 플라즈마 소스, 기능 디스플레이, 웨이퍼 전송, 환경 시스템 및 화학 전달 장치와 같은 다양한 구성 요소로 구성됩니다. 저압 혈장 공급원은 혈장 처리에 사용되는 반응성 종을 생성하는 데 사용됩니다. 작동 압력 4mtorr까지 발사 할 수 있습니다. 전원 공급 장치 및 주파수 제어 (Frequency Control) 를 포함한 기능 디스플레이는 최적의 작동을 위해 플라즈마 원자로를 조정하는 데 사용됩니다. 이 디스플레이를 사용하면 원자로 매개변수를 완전히 사용자정의할 수도 있습니다. APPLIED MATERIALS Centura DPS G5 (APPLIED MATERIALS Centura DPS G5) 의 웨이퍼 전송 섹션은 최적의 열 성능을 유지하면서 웨이퍼 로더에서 플라즈마 챔버로 안전하고 안정적으로 전송하도록 설계되었습니다. 이 전송에는 웨이퍼로드 카세트, 진공 격리 밸브 및 광학 감지가 포함 된 glovebox 인터페이스도 포함됩니다. Centura DPS G5의 환경 머신은 완전 자동화 및 사용이 간편한 도구에서 반응 가스, 적응 플라즈마 전원 제어, 배경 가스 전환 및 레시피를 제공합니다. 이 자산은 최고 품질의 플라즈마 에치 프로세스를 보장합니다. DPS G5 (DPS G5) 의 화학 전달 모델은 화학 투여 매니 폴드로 구성되며, 생산 영역에 대한 정확한 화학 공급이 가능합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS G5는 견고한 마이크로 기판 플랫폼과 듀얼 진공 처리 기술로 인해 효율적인 비용으로 반복 및 제어 가능한 프로세스를 제공합니다. 이 원자로는 금속, 산화물, 질화물 등을 빠르게 에칭, 증착, 청소하며, 업계 최고의 속도로 정확한 정밀도를 제공합니다. 사용자 친화적인 제어판 (Control Panel), 전체 소프트웨어 통합 (Full Software Integration) 및 네트워크 접속성 (Network Connectivity) 을 통해 사용자는 인터페이스에 쉽게 액세스하여 일관된 프로세스를 유지할 수 있습니다.