판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS G5 #9270723
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Applied Material AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS G5는 고성능 원자로입니다. 고품질, 순수 재료를 생산할 수있는 높은 진공, 멀티 챔버 장비입니다. 분자 빔 에피 택시 (molecular beam epitaxy) 또는 전통적인 저가 PECVD 증착 과정에서 진공이 사용됩니다. 공유 진공 시스템이있는 2 개의 챔버로 구성됩니다. 하부 메인 챔버는 대규모의 자기 제한 광선 방전으로 작동합니다. 상공 챔버는 MBE 또는 PECVD 작업을 수행하는 데 적합합니다. 열화 빔이있는 2 개의 동심 장착 실드로 구성됩니다. 또한, 박막 증착 목적으로 두 챔버 모두에 전자 빔 소스 (e-beam source) 가 오버헤드에 장착되고, 물질 이식 또는 사전 손상의 고 에너지 이온의 원천이되기 위해 저에너지 이온 빔 소스 (low energy ion beam source) 가 장착됩니다. 약실에는 또한 질량 분광학, 석영 결정 미생물, 광학 방출 분광학 및 타원 소메트리와 같은 많은 진단이 포함되어 있습니다. Applied Material AMAT Centura DPS G5는 전문 연구 활동에 비용 효율적이고 신뢰할 수있는 단위입니다. 그것은 엄격한 프로세스 제어 및 정확한 프로세스 지식이 특징입니다. 또한 제어 소프트웨어는 사용자 친화적입니다. 이 단순화 된 사용자 인터페이스 (user interface) 를 사용하면 경험이 부족한 사용자조차도 거의 노력하지 않고 성공적인 필름 증착을 쉽게 수행할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS Centura DPS G5에는 안전한 작동을 보장하기 위해 여러 가지 안전 기능이 장착되어 있습니다. 이러한 기능에는 오븐에 대한 화재 방지, 증착실 전체에 압력 센서 (pressure sensor) 및 차가운 함정 (cold trap) 이 포함됩니다. 또한, 박막의 시각적 분석, 재료의 분광 분석과 같은 몇 가지 진단 옵션이 있습니다. 결론적으로, Centura DPS G5는 고품질 및 순수 재료를 생산하기위한 훌륭한 기계입니다. 공정 제어 (process control), 단순화된 사용자 인터페이스, 다양한 안전 기능이 특징입니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS G5 (AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS G5) 도구는 전문 연구 활동을 위한 안정적이고 비용 효율적인 솔루션으로, 성공적인 필름 증착을 위한 다양한 진단 옵션을 제공합니다.
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