판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS G5 #9188282

AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS G5
ID: 9188282
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2007
Etcher, 12" Process: Poly 2007 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS G5 원자로는 반도체 장치 제조의 까다로운 요구를 충족시키기 위해 설계된 고급, 완전 자동화 플라즈마 강화 화학 증기 (PECVD) 장비입니다. 즉, 고급 기판 처리 기능과 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 를 모두 제공하여, 프로세스를 빠르고 편리하게 온라인으로 전환할 수 있습니다. 이 "시스템 '의 주된 장점 은 여러 층 의 재질 을 순차적 으로 그리고 거대 한 기판 에 배치 하는 능력 으로, 집적" 회로' 와 기타 부품 들 을 매우 효율적 으로 생산 할 수 있다. AMAT Centura DPS G5는 질소, 수소, 산소, 아르신, 실란 및 테트라 키스-디메틸-암모늄-실란을 포함한 다양한 가스를 사용하여 작동 할 수있는 다양한 전력을 갖추고 있습니다. 전력 수준은 10 ~ 1200 와트에서 쉽게 조정할 수 있으며, 정확한 증착률 및 재료 균일성이 가능합니다. "에미터 '는 기판 위치 를 정밀 하고 효율적 으로 제어 하여 고도 의 정밀 처리 를 가능 하게 한다. 평행 전극 장치 (parallel-electrrode unit) 는 단일 실행에서 여러 레이어의 균일 한 두께를 허용하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 프로세스 품질을 최적화하기 위해 실시간 프로세스 모니터링, 원격 액세스, 정교한 데이터 로깅 (data-logging) 기능을 갖추고 있습니다. 이를 통해 사용자는 프로세스 매개 변수를 추적하고 정확히 파악할 수 있으며, 이를 통해 프로세스 매개 변수를 더욱 개선할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS Centura DPS G5에는 AMAT Process Control Suite도 포함되어 있으며, 프로세스를 더욱 최적화하는 종합적인 사용자 친화적 그래픽 툴을 제공합니다. Centura DPS G5는 대용량 생산 실행을 위해 제작되었으며, 뛰어난 기판 처리 및 안정적인 운영을 제공합니다. 즉, 안정성을 통해 결함이 없는 부품을 생산하면서 까다로운 주기 (cycle-time) 요구 사항을 지속적으로 충족할 수 있습니다. 이 자산은 또한 비상 사태의 경우 자동 종료 (Automatic Shutdown) 기능을 포함하여 다양한 안전 기능을 제공합니다. 전반적으로 AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS G5 원자로는 안정적이고 정확한 PECVD 기능을 제공하기 위해 설계된 고급 모델입니다. 정밀하고 정확한 프로세스 제어를 통해 고품질의 집적 회로 (integrated circuit) 및 기타 구성요소 생산, 정교한 원격 데이터 로깅 (remote data logging) 기능을 통해 사용자는 프로세스를 지속적으로 모니터링하고 최적화할 수 있습니다.
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