판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS G5 #9188281

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS G5는 고급 기술 장치의 대용량 생산을 위해 설계된 박막 증착 원자로입니다. 폴리실리콘 (polysilicon), 실리콘 산화물 (silicon oxide), 기타 금속 산화물 (metal oxides), 유전체 및 수동층 (passivation layer) 과 같은 얇은 필름의 증착을위한 업계 최고의 도구입니다. G5는 독특한 2 챔버 기술을 사용하여 정확하고 반복 가능한 증착을 허용하는 대기 압력, 이중 플래튼, 선형 방향 물리적 증기 증착 (LDPVD) 플랫폼입니다. 이 장비는 광범위한 가스 전달 시스템을 갖춘 단일 소스 (single-source) 기술을 통해 박막 재료를 다용도로 생산할 수 있습니다. G5 챔버의 두 챔버 모두 자동 셔터 (automated shutter) 를 갖추고 있으며, 챔버 조건에서 우수한 균일 성과 더 효율적인 재료 처리를 가능하게합니다. G5 는 또한 특허 출원 중인 독자적인 콜드 트랩 (cold-trap) 기능을 갖추고 있으며, 증착 중 기판 오염 물질을 캡처하고, 박막 재료를 보다 깨끗하고 효율적으로 생산할 수 있습니다. G5 의 고해상도 자동 셔터 제어 (automated shutter control) 를 통해 동일한 증착 조건에 여러 웨이퍼를 동기화할 수 있습니다. 이는 최고의 프로세스 반복성과 균일성을 보장합니다. 또한, G5는 빠른 열 사이클링을 가능하게하여 필름을 더 빠르게 처리하고 재증착 단계를 줄입니다. 이로 인해 처리량이 높아지고 소유 비용이 절감됩니다. 또한 G5 는 정밀 로드 잠금 장치 (precision load-lock unit) 를 갖추고 있어 뛰어난 처리량을 비롯하여 신속한 웨이퍼 로딩 및 언로드가 가능합니다. AC 전원 공급 장치를 사용하는 경우, 기계는 빠르게 온도에 도달하고 유지 할 수 있습니다. 이 도구는 또한 저전력 무선 주파수 어레이 (frequency array) 를 갖추고 있으며, 고밀도 박막 처리와 기내 입자로 인한 오염 제거. AMAT Centura DPS G5는 고품질 박막을 생산할 수있는 고급 고성능 원자로입니다. G5 는 프로세스 반복성, 균일성 (uniformity), 효율성 (efficient material) 처리 기능을 통해 차세대 디바이스용 고급 소재를 대량으로 생산할 수 있는 원자로 (reactor) 입니다.