판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS G5 #293804483
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AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS G5는 반도체 재료의 증착을 위해 고급의 특수 화학 원자로입니다. 우수한 프로세스 반복성 (process repeatability) 과 신뢰성을 제공하기 위해 개발되었으며, 이는 생산량을 극대화하는 데 도움이됩니다. G5는 드라이 스트립, 스퍼터링 및 에칭 프로세스에서 업계에서 가장 높은 처리량을 제공합니다. 뛰어난 재사용성 및 비용 절감을 제공하는 단일 4 카세트 디자인이 특징입니다. G5 원자로는 초박막의 저온 증착 (low-thin film) 에서부터 깊은 에치 (etch) 를 위해 빠른 램프까지 다양한 공정 조건을 처리 할 수 있으며, 고급 설계는 재료 이동 및 운송 시간을 줄이는 데 도움이됩니다. G5 는 모듈식 기판 간 플랫폼 (Substrate-to-Substrate Platform) 을 기반으로 하여 광범위한 구성과 광범위한 저항성을 제공합니다. G5 는 이중 펌핑 장비로 향상된 진공 기술 (vacuum technology) 을 갖추고 있으며, 이를 통해 입자 정착을 줄이고 반응 가장자리 효과를 최소화할 수 있습니다. G5 는 또한 고해상도 사분면 이미징 시스템 (quadrant imaging system) 을 갖추고 있어 기판을 자동으로 정밀하게 정렬하여 등록 정확도를 높입니다. 또한, 원자로는 온도, 압력, 습도에 대한 고급 환경 조절을 제공하며, 이는 더 나은 수확량을 위해 산화물 오염을 줄이는 데 도움이됩니다. 또한, G5는 기질 반사율을 향상시키기 위해 낮은 방출성 표면 처리 (low-emissivity surface treatment) 를 특징으로하며, 생산의 효율성을 향상시킵니다. 또한 G5 는 다중 레벨 오버플로 (overflow) 장치를 제공하여 액체 오버플로 사고와 관련된 다운타임을 최소화합니다. 게다가, G5는 여러 프로세스 레시피를 미리 정의할 수 있는 고성능 공구 (set) 포인트 창을 제공하여, 설정 (set point) 최적화로 인한 공구 다운타임을 줄입니다. AMAT Centura DPS G5는 대용량 생산 시나리오에서 반도체 재료를 증강하도록 설계된 견고하고 신뢰할 수있는 원자로입니다. 고급 기능으로 반도체 생산에서 업계의 선두 주자가되었습니다. 모듈 식 설계는 광범위한 구성, 진공 기술, 입자 정착 감소, 환경 제어, 최적의 온도 유지, 향상된 기판 반사율, 사전 정의 머신 윈도우 (pre-defined machine window) 등의 기능을 제공합니다.
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