판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPS G5 MESA #9383826

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPS G5 MESA (Metal Etch Selective Area) 는 고급 에치 및 증착 프로세스에 사용하도록 설계된 고급형 다용도 원자로 플랫폼입니다. 5 세대 AMAT 센츄라 DPS (Centura DPS) 시스템 제품군에 속하는 이 원자로는 이전 세대 원자로에 비해 매우 강력하고 안정적인 성능을 제공하며, 수년간 업계에서 테스트 및 입증되었습니다. AMAT Centura DPS G5 MESA 원자로는 큰 바닥 위에 구축되어 광범위한 프로세스 흐름과 다양한 장비 유연성을 제공합니다. 이 원자로에는 다양한 가스와 유체 입구 (fluid inlet) 와 콘센트 (outlet) 가 장착되어 있어 다양한 공정 요구 사항에 적합한 다양한 구성이 가능합니다. 원자로 (Reactor) 는 프로세스 단계에 따라 별도의 챔버를 갖춘 모듈식 설계 (Modular Design) 와 프런트 다운 (Front-down) 또는 사이드 다운 웨이퍼 (Side-down Wafer) 구성을 사용하도록 설정된 프로세스 모듈 (Process Module) 을 갖추고 있습니다. 원자로의 설계에는 고급적이고 사용하기 쉬운 제어 시스템 (Control System) 이 포함되어 있으며, 다양한 수준의 자동화가 가능하며 다양한 프로세스 모니터링 및 로깅 툴이 제공됩니다. 또한 사용자 친화적인 인터페이스를 통해 중요한 단위 (critical unit) 매개변수를 손쉽게 모니터링, 추적하여 안정적이고 반복 가능한 프로세스를 보장할 수 있습니다. 원자로에는 초고에너지 플라즈마 소스 (plasma source) 와 넓은 RF 전달 파워 레벨 (power level) 이 있어 동급 다른 시스템보다 처리 속도가 훨씬 빠릅니다. 또한, 원자로의 고성능 플라즈마 소스를 사용하면 가장 까다로운 프로세스 (예: 고온 포토레지스트 프로세스) 를 처리 할 수 있습니다. 원자로는 또한 산업 표준 플라즈마 방출 탐지 기계 (PED), 에디 전류 탐지 (ECD) 및 고감도 광학 방출 탐지 도구 (OED) 를 포함한 여러 고성능 공정 종점 탐지 시스템을 제공합니다. 이러한 종단점 감지 시스템 (End-Point Detection Systems) 은 프로세스 단계가 완료되고 프로세스 변동 또는 결함 생성을 방지하는 데 도움이 되는 기능을 제공합니다. 마지막으로 APPLIED MATERIALS Centura DPS G5 MESA 원자로에는 프로세스 레시피 생성 및 최적화 서비스, 현장 전문가 분석 및 문제 해결, 연장 보증 및 서비스 프로그램 등 다양한 지원 및 유지 보수 옵션이 포함되어 있습니다. 원자로 (reactor) 는 또한 작동 및 유지보수 (maintenance) 에 대한 업계 최고의 안전 기준과 품질 보증 및 규정 준수를 준수합니다.