판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DPN #9156591

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DPN은 반도체 장치 제조 공정에 설계되고 사용되는 고급 올인원 증착 원자로입니다. 이 강착 원자로는 최첨단이며 다중 영역 온도 제어, 습식 에치 (wet etch) 기능, 높은 강착률, 낮은 미립자 생성 등 다양한 고급 기능을 제공합니다. AMAT Centura DPN 장비에는 정밀한 온도 제어를 위해 멀티 존 기판 히터와 결합 된 수직 마그네트론 스타일의 음극이 포함되어 있으며, 모두 단일, 완전한 기능을 갖춘 처리 실에 통합되어 있습니다. 이 시스템은 뛰어난 필름 균일성과 뛰어난 프로세스 반복성을 제공하며, 원격 가스 분사, 자동 로드 및 언로드 기능, 현장 도량형 (in-situ metrology), 인사이트 조절 (in-situ throttling) 등 다양한 옵션 기능을 제공합니다. APPLIED MATERIALS CENTURA (DPN) 의 다중 영역 온도 제어 및 활성 드래그 제어는 균일 한 온도 및 기판 균일성을 허용합니다. APPLIED MATERIALS Centura DPN은 ± 2.0 ° C의 정확성과 ± 1.0 ° C의 표면 온도 균일성으로 다양한 기하학에서 균일 한 온도를 유지할 수 있습니다. 이것은 우수한 공정 제어를 제공하여 증착률과 균일 한 필름을 가능하게합니다. Centura DPN 은 고속, 10 단계 순차 증착 기능을 갖춘 탁월한 처리량을 제공합니다. 이 장치는 고급 프로세스 제어 알고리즘, 증착 균일성 (deposition uniformity), 온도 균일성 (temperity uniformity) 및 프로세스 반복성 (process repeatability) 으로 인해 높은 처리율을 달성하면서 성능을 저하하지 않습니다. CENTURA (DPN) 는 고급 반도체 장치 제작을 위해 설계, 최적화되었으며, 여러 업계의 다양한 애플리케이션에 이상적인 솔루션을 제공합니다. 이 증착 원자로 (deposition reactor) 는 뛰어난 공정 반복성, 균일성, 높은 처리율을 제공하여 가장 까다로운 반도체 장치 제작 어플리케이션에 이상적인 기판 처리 기계입니다.