판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DLH #9093319

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DLH는 반도체 제조 시설에서 웨이퍼 처리를위한 원자로입니다. 이 원자로의 직경은 약 200mm, 높이는 200mm 인 공정 챔버 (process chamber) 를 가지며, 헬륨을 사용하여 냉각하고 챔버 내에서 낮은 주변 압력을 제공합니다. 원자로는 또한 매우 높은 진공 작동을 제공하며, 기본 압력 사이에서 10-7 Torr까지 작동 할 수 있습니다. AMAT 센츄라 DLH (Centura DLH) 는 엔지니어와 기술자에게 실리콘 웨이퍼 처리를 위한 다양한 옵션과 기능을 제공하도록 설계되었습니다. 여기에는 다양한 프로세스 조건에서 높은 처리량, 정밀한 온도 제어 (control of temperature), 가스 전달 (gas delivery) 및 작동 (operation) 기능이 포함됩니다. 원자로는 최대 1200 ° C의 온도에서 웨이퍼 처리를 허용하며 금속 침착, 유전체 침착, 어닐링 및 에칭에 사용할 수 있습니다. 금속 증착의 경우, 원자로는 알루미늄, 구리 및 티타늄을 우수한 균일성으로 증착 할 수 있습니다. 또한, 원자로는 산화물, 질화물 등의 유전체 퇴적뿐만 아니라 저항과 폴리 실리콘 (polysilicon) 에 대한 우수한 균일성을 제공한다. APPLIED MATERIALS Centura DLH 원자로는 냉각 된 배플 및 방향 노즐을 사용하여 공정 챔버에서 균일 한 흐름을 제공합니다. 이것 은 "웨이퍼 '표면 을 가로지르는 균일 한 증착 속도 를 보장 해 주며, 또한 약실 에서 입자 와 다른 오염 물질 들 을 제거 하는 데 도 도움 이 된다. 원자로에는 균일성 제어, 웨이퍼 온도 조절, 프로세스 최적화, 실시간 제어 등 다양한 고급 기능과 기능이 포함되어 있습니다. 이러한 기능을 통해 사용자는 프로세스를 최적화하여 처리량을 높이고 수율을 높일 수 있습니다. 또한, Centura DLH 원자로는 유지 보수 및 다운타임 동안 프로세스 챔버를 신속하게 재 활성화 및 정리하도록 설계되었습니다. 따라서 가동 중지 시간을 줄이고 실리콘 웨이퍼 처리의 생산성을 높일 수 있습니다. 전반적으로 AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DLH는 실리콘 웨이퍼 제조와 관련된 다양한 프로세스에 대한 안정적이고 효율적인 원자로입니다. 다양한 고급 기능 (Advanced Features) 과 기능을 갖춘 이 원자로는 고품질 (High Quality) 결과를 달성하는 데 필요한 유연성과 성능을 사용자에게 제공하도록 설계되었습니다.