판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura DLH #9093317

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura DLH Series Reactor는 고온 웨이퍼 처리를위한 진공 장비입니다. 컴팩트하고, 사용자 친화적인 디자인으로 안정적이고, 효율적인 운영을 제공하는 고급 시스템입니다. 200mm, 300mm, 대형 직경 웨이퍼 등 다양한 웨이퍼 크기에 사용하도록 설계되었습니다. 이 장치는 최대 1100 ° C의 고온 기능을 갖추고 있으며, 고성능 프로세스 어플리케이션을 위한 범위를 제공합니다. AMAT Centura DLH Series Reactor는 독특한 설계 및 구성을 통해 강력한 열 성능과 뛰어난 기계 안정성을 결합합니다. 통합 원자로 설계에는 RTP (Rapid Thermal Processing) 를위한 쿼츠 튜브/요소가 내장 된 저열 질량 미니 관형 히터가 포함됩니다. 미니 관형 디자인과 실라이드 단열재 (silicide insulation) 는 우수한 열 반응을 촉진하여 우수한 온도 정확도와 엄격한 프로세스 창을 제공합니다. DLH 난방 요소는 또한 고효율이며, 높은 전력 입력 및 빠른 난방 속도를 제공합니다. 또한, 이 도구는 견고한, 개별 수준의 전원 제어를 통해 프로세스를 정확하게 제어할 수 있습니다. 통합 프로세스 제어 장치 (PCU) 는 신속한 프로세스 개선을 위해 정확한 자동화를 제공합니다. APPLIED MATERIALS Centura DLH Series Reactor는 다양한 고급 안전 기능을 제공합니다. 무결성 검사는 웨이퍼 처리에 앞서 각 자산의 성능 상태를 확인합니다. 또한, 안전 연동, 열전대 및 입구 압력 모니터링은 탁월한 안전을 위해 열 성능을 보호하고 모니터링합니다. 마지막으로, 자동 압력 제어 (Automatic Pressure Control), 향상된 PID 제어 (Enhanced PID Control) 및 쿼츠 입구 튜브 (Quartz Inlet Tube) 와 같은 다양한 옵션을 사용하여 모델 성능을 더욱 향상시킬 수 있습니다. 전반적으로 Centura DLH Series Reactor는 고온 웨이퍼 처리를 위해 강력하고 효율적이며 안전한 장비입니다. 견고한 프로세스 윈도우와 견고한 프로세스 제어로 탁월한 열 성능을 제공합니다. 컴팩트 한 디자인은 공간 절약 및 사용자 친화적 인 운영을 제공합니다. 마지막으로, 안전 기능 (Safety Feature) 은 시스템 성능에 대한 탁월한 보안과 자신감을 제공합니다.