판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura ASP+ #9116838

ID: 9116838
Chamber system.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura ASP + 는 반도체 웨이퍼 처리를 위해 설계된 고효율 화학 증기 증착 (CVD) 원자로입니다. 첨단 원자로는 에피 택시 성장, 폴리 실리콘 증착, 이국적인 필름 형성과 같은 고급 증착 과정을 수행 할 수있다. AMAT Centura ASP + 원자로는 뛰어난 생산성, 유연성, 탁월한 프로세스 제어를 통해 대용량 생산 요구를 충족하도록 특별히 설계되었습니다. APPLIED MATERIALS Centura ASP + 원자로는 필름 무결성을 향상시키는 최적화 된 디자인을 특징으로합니다. 원자로에는 여분의 긴 반도체 챔버 (semi-conductor chamber) 가 있으며, 이를 통해 열 격리 및 균일성이 향상됩니다. 고급 설계를 통해 기존 제조 인프라에 빠르고 쉽게 통합할 수 있습니다. 또한 Centura ASP + 원자로는 HTPID (high-tempered inductive deposition) 및 QBA (quick-buffer adjustment) 와 같은 여러 가지 고급 기술을 사용하여 생산 제어 및 지속 가능성을 향상시킵니다. 원자로에는 다중 축, 정밀 동력 웨이퍼 수송 시스템이 장착되어 있습니다. 이렇게 하면 수동 웨이퍼 처리가 필요 없이 정확한 웨이퍼 배치와 균일 처리 (uniform processing) 가 가능합니다. 고급 플라즈마 소스도 사용할 수 있으며, 고밀도 플라즈마 (HDP) 및 저압 가변 반경 전자 사이클로트론 공명 (LP-VREC) 과 같은 고급 플라즈마 지원 프로세스를 가능하게하며, 프로세스 안정성과 제어를 강화합니다. 또한 Centrea ASP + Reactor 는 프로세스 값을 모니터링하고 실시간 데이터 및 원격 모니터링 기능을 제공하는 자동 센서와 경고 (alarm) 를 제공합니다. 고급 데이터 획득 (Advanced Data Acquisition) 및 제어 (Control) 기능을 통해 운영자는 프로세스 매개변수에서 변경 사항을 신속하게 발견할 수 있으며 필요한 경우 수정 조치를 취할 수 있습니다. 또한 사용자 친화적 소프트웨어는 교육 시간을 줄이고 운영자의 생산성을 향상시킵니다. 요약하면, AMAT/APPLIED MATERIALS Centura ASP + 원자로는 반도체 웨이퍼 처리를 위한 세계적 수준의 솔루션을 제공하며, 탁월한 프로세스 제어, 신뢰성 및 효율성을 제공합니다. 고급 기능 (Advanced Features) 과 기술 (Technologies) 을 결합하면 생산성 저하 없이 뛰어난 생산성과 균일성을 제공합니다. 원자로 (Reactor) 는 기존 시스템에 쉽게 통합될 수 있도록 설계되었으며, 대용량 생산을 위한 안정적이고 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다.
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