판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura AP #9364673

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura AP는 반도체, 도체, 유전체, III-V 재료 및 Si/SiO2 필름을 포함한 광범위한 물질을 위해 설계된 화학 증기 증착 (CVD) 원자로입니다. 원자로는 비용 효율적인 가격으로 탁월한 프로세스 제어 및 반복 성을 제공합니다. AMAT Centura AP 원자로에는 화학 반응을 유발하기 위해 전구체 재료가 가열되는 이중 챔버 설계 및 석영 튜브 (quartz tube) 가 포함되어 있습니다. 그런 다음, 가열 된 전구체 물질 을 시약 "가스 '와 반응 시켜 기판 에 원하는" 필름' 을 만든다. 원자로에는 조절 및 안전한 전구체 재료, 시약 가스 공급 라인, 배기 가스 라인 (gas line) 이 장착 된 진공 펌프 (vacuum pump) 의 공급이 가능한 가스선이 가열되어 있습니다. 원자로는 광범위한 작동 온도 범위와 압력 요구 사항을 가지고 있으며, 이는 (100) 및 (111) 면면 (Si 기판) 과 같은 여러 결정 방향으로 적용하기에 이상적입니다. APPLIED MATERIALS Centura AP의 높은 처리량은 대용량 애플리케이션에 적합합니다. 원자로에는 다단계 공정 제어 소프트웨어 (Multi-Level Process Control Software) 가 장착되어 있어 가스 (Gas) 와 온도 흐름 (Temperature Flow) 을 정확하게 제어하고 프로세스 전반에 걸쳐 원하는 조건을 유지할 수 있습니다. 소프트웨어 인터페이스 (Software Interface) 는 사용 편이성, 유연성 및 반복성을 제공하여 실험이나 운영 실행을 실행합니다. Centura AP 는 모듈식으로 설계되었으며, 부하 잠금 모듈 (Load Lock Module) 을 사용하여 기판을 빠르고 쉽게 로드하고 전송할 수 있습니다. 원소 전구체 (SiH4, PH3, B2H6) 와 유기 금속 전구체 (프로파르 질, 부틸리튬 및 트리메틸 갈륨) 를 포함하는 광범위한 전구체가 있지만, 다른 화학 전구체와 함께 사용될 수있는 기능이 있습니다. 원자로는 자동화 및 공정을 조정함으로써 수십 개의 옹스트롬 (angstrom) 에서 초당 미크론 (micron) 에 이르는 성장률을 가질 수있다. AMAT/APPLIED MATERIALS Centura AP는 유지 보수 수준이 낮으며 다양한 안전 기능을 갖춘 사용자 친화적 디자인입니다. 원자로는 작동이 간단하며, 특정 요구 사항을 충족하도록 사용자 정의 할 수 있습니다. 원자로 설계의 견고성은 제조 환경에서 장기적이고, 신뢰할 수있는 운영에 적합합니다.