판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura AP #293794760
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AMAT/APPLIED MATERIALS Centura AP는 박막 증착과 관련된 증착 공정의 처리량 및 품질을 향상시키기 위해 설계된 차세대 원자로입니다. AMAT Centura AP는 반도체 산업을위한 대용량 제조에 이상적인 고급 병렬 원자로입니다. APPLIED MATERIALS Centura AP는 로드 및 언로드 스테이션이있는 단일 자동 원자로 챔버로 구성됩니다. 약실 은 산소, 질소, "아르곤 '과 같은 여러 가지 가공" 가스' 와 "실레인 '이나 사염화" 가스' 를 처리 하도록 구성 되어 있다. 그것 은 전기장 을 조성 하기 위한 전극 한 "세이트 '를 갖추고 있으며, 용도 로는 증착 과정 을 최적화 하도록 설계 되었다. 원자로의 자동 제어 시스템 (automated control system of the reactor) 을 사용하면 특정 증착 작업에 따라 압력, 온도 등의 프로세스 매개변수를 정확하게 조정할 수 있습니다. 작동 할 때, 공정 "가스 '가 약실 로 방출 되는데, 거기서 전기장 은 최적 의 증착 조건 을 만든다. 그런 다음, 반응 가스는 원하는 박막이 형성되는 기질로 이동합니다. 그 다음 에 "가스 '를 방 에서 소진 시키고, 냉방" 가스' 로 적절 한 청소 를 하기 위하여 "챔버 '를 닫는다. 센츄라 AP (Centura AP) 는 유지 관리가 쉽고 자동 진단을 통해 사용자가 반응 매개변수를 빠르고 쉽게 진단하고 조정할 수 있도록 설계되었습니다. 또한, 이 시스템은 오염 방지 구조로 설계되어 증착 과정에서 오염을 최소화합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Centura AP의 초소형 공간은 대용량 생산 라인에 적합합니다. 원자로는 또한 광범위한 프로세스 매개 변수와 정확한 균일 성을 통해 PVD (화학적으로 증착 된 증착) 및 ALD (원자층 증착) 와 같은 프로세스를 최적으로 제어합니다. 원자로의 효율성· 처리량은 반도체 (반도체) 업계에 상업적으로 매력적인 솔루션이다.
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