판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura AP Ultima X #9303196

AMAT/AMAT/APPLIED MATERIALS Centura AP Ultima X 원자로는 동일한 챔버에서 여러 프로세스를 실행하여 유연한 레시피를 처리 할 수있는 화학 증기 증착 (CVD) 원자로입니다. 원자로는 다양한 조건에서 장치 제조 (device manufacturing) 를 위해 설계되었으며, 고급 프로세스를 안정적으로 처리 할 수있는 기능을 제공합니다. STI (shallow trench isolation), ILD (inter-layer dielectric), 게이트 유전체, 금속, high-k 등과 같은 응용 분야에 사용될 수있는 에너지 효율적인 원자로입니다. 균일 한 비 균일 및 혼합 가스 흐름을 사용하여 뛰어난 처리 안정성을 제공합니다. AMAT Centura AP Ultima X Reactor는 자동 레시피 생성기를 사용하여 다른 프로세스 요구 사항에 따라 매개 변수를 신속하게 조정 할 수있는 단일 웨이퍼 로드 장비입니다. 이 장치 의 "가스 '장치 는 최대 의 유연성 을 지닌" 가스' 를 설계 하여 "가스 '의 변화, 혼합 및" 셔틀' 을 가능 하게 하였다. 원자로는 Freon-13 및 otherFreon 기반 냉장고와 함께 작동하여 다양한 온도 설정을 허용합니다. 원자로에는 레시피가 실행될 때 실시간 프로세스 정보를 제공하는 시각화 (visualization) 모듈도 있습니다. 원자로는 화학 전달 및 자동화 시스템을 조합하여 원자 층 증착 (ALD) 및 CVD 프로세스 동안 우수한 열 조절을 가능하게한다. 원자로에는 프로세스를 시작하기 전에 온도에 맞게 자동으로 조정되는 기능이 있습니다. 이렇게 하면 실행 (run) 에서 실행 (run) 까지의 반복성이 보장되고 수동 개입이 제거되므로 프로세스 제어가 향상됩니다. APPLIED MATERIALS Centura AP Ultima X 원자로의 주변 온도는 최대 800 ° C까지 조정할 수 있습니다. 뿐 만 아니라, 원자로 에는 "웨이퍼 '의" 필름' 성장 을 위한 공정 실 내 의 온도 를 유지 하는 온도 조절 기계 가 있다. APPLIED MATERIALS/Centura AP Ultima X는 종합적이고 에너지 효율적이며 고성능 반응기로, 고급 프로세스 개발 작업에 이상적입니다. 높은 수준의 자동화, 탁월한 열 제어, 유연성으로 인해 고수율 및 비용 효율적인 장치 생산에 적합합니다.