판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura AP Enabler #293637141

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura AP Enabler는 다양한 웨이퍼 생산 공정에서 반도체 제조를 위해 설계된 고급 원자로입니다. 이 원자로는 높은 처리량, 저압, 우수한 온도 균일성을 결합하여 최고의 장치 수율을 제공합니다. 저용량/대용량 생산 프로세스에 이상적인 툴입니다. AMAT Centura AP Enabler는 -90 ° ~ + 750 ° C 범위의 혁신적인 원자로 챔버 설계를 사용합니다. 부식 내성이 향상되었고, 가스 흐름이 증가하여 챔버의 균일성이 높아졌습니다. 또한 온도 균일성을 유지하고 산화를 방지하기 위해 낮은 방출 라이닝 (emissivity lining) 이 특징입니다. 원자로 챔버는 또한 무선 주파수, 펄스 가열 및 방사선 가열 구역 (Radiant Heating Zone) 에 의해 가열되어 챔버 전체에서 효율적이고 가열이 가능합니다. AP Enabler에는 트리플 레벨 디자인이 있습니다. 여기에는 공간이 제한되고, 압력에 대한 완전한 제어, 온도 및 흐름 제어, 더 나은 레시피 일관성, 향상된 워크플로우, 효율적인 확장성 등이 포함됩니다. APPLIED MATERIALS Centura AP Enabler는 웨이퍼 처리를 위한 장벽 없는 설계로, 빠르고 효율적인 웨이퍼 로드/언로드를 가능하게 하며, 따라서 처리량을 줄입니다. 원자로는 가스 분산 (Gas Distribution) 및 스토리지 시스템 (Storage System) 기술을 활용하여 프로세스 유연성과 제어, 그리고 다양한 독립 액세스 포트 (Access Port) 를 로딩 및 언로드할 수 있습니다. 이를 통해 가장 효율적인 프로세스 엔지니어링이 가능합니다. 원자로는 또한 진공 분할, 산화, 확산 및 저온 화학 증기 증착을 포함한 여러 기질 처리 솔루션을 제공합니다. Centura AP Enabler 는 다양한 센서로 프로세스 제어 및 모니터링을 통합하여, 온라인 프로세스 모니터링 및 실시간 프로세스 제어를 모두 지원합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Centura AP Enabler는 또한 단순화 된 운영자 인터페이스와 자동 작동으로 설계되었습니다. 이러한 기능은 고품질, 고수율 반도체 제품을 만드는 데 이상적인 도구입니다.