판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura AP Enabler FEOL-E5 #9119010

ID: 9119010
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2009
Dielectric etcher, 12" (4) Chambers Parts system 2009 vintage.
AMAT (APPLIED MATERIALS) Centura AP Enabler Front End of Line (FEOL) -E5는 나노 규모의 집적 회로 제작을위한 고급 플랫폼을 제공하는 반도체 제조 장비입니다. 탁월한 생산성, 안정성을 제공하는 독보적인 기능을 제공합니다. AP Enabler FEOL-E5는 혁신적인 FEOL (Feature Enhanced Organic Layer) 기술을 사용하여 실리콘 기판과 증착 된 레이어 사이의 뛰어난 인터페이스를 제공합니다. FEOL 프로세스를 사용하면 리소그래피 프로세스에서 고급 피쳐 제어 및 정밀도가 높아집니다. 통합 석판화 시스템 (Integrated Lithography System) 은 최대 14nm의 직선폭을 지원하므로 최첨단 전자 부품을 제작할 수 있습니다. 이 장치는 또한 고출력, 높은 신뢰성 진공 디스크 스퍼터링 머신 (sputtering machine) 을 갖추고 있으며 증착 과정에서 뛰어난 균일성을 제공합니다. 이 도구는 금속, 세라믹, 폴리실리콘 레이어 등 다양한 재료를 처리하도록 구성할 수 있습니다. 따라서 유연성이 향상되고, 복잡한 메모리 칩에서 나노미터 (Nanometer) 확장 전원 장치에 이르기까지 다양한 어플리케이션을 처리할 수 있습니다. 이 자산은 혁신적인 FEOL 기술 외에도 통합 난방 모델 (integrated heating model) 과 혁신적인 프로세스 제어 전자 제품 (Innovative process control electronics) 을 제공하여 웨이퍼 기판 전체에서 안정적인 작동과 균일성을 보장합니다. 이 장비는 증착 공정 (deposition process) 및 후속 유전체 증착 공정의 정확한 모니터링을 위해 고해상도 도량형 시스템을 지원합니다. AP Enabler FEOL-E5 는 탁월한 프로세스 제어, 높은 가동 시간, 안정적인 작동을 제공하는 하이엔드 장치입니다. 우수한 수율과 향상된 장치 성능을 제공하여, 고급 반도체 생산에 이상적입니다. 다양한 기능과 높은 신뢰성 설계를 갖춘 AMAT/APPLIED MATERIALS Centura AP Enabler FEOL-E5는 고급 반도체 제조에 적합합니다.
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