판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura AP DPS II #9209227
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ID: 9209227
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2006
Polysilicon etcher, 12"
(4) Process chambers: DPS-ll
With AGN
ESC
Missing parts:
Qty / Name / Part number
(1) / View window / 0200-36461
(1) / 10 Torr gauge / 135-00013
(1) / Ion gauge / 3310-0006
(1) / Bias match / 0190-03009
(1) / HV / 0090-00865
(1) / Foreline gauge /1350-01232
(1) / Ion gauge ISO valve / 3870-00021
(1) / Monochrometer EPD / 0010-05478
(1) / Slit door / 0020-64587
(1) / Slit door bellow / 0040-76767
(1) / NA Heated weldment TEE-KF 40 / 0190-23502
(1) / Heated weldment 7.09 KF 40 R / 0190-23503
(1) / MF Robot driver / 0190-17853
(3) / E84 Cables / -
(2) / Special gas pipes / -
2006 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura AP DPS II는 반도체 산업에 사용되는 재료 처리를 위해 설계된 원자로입니다. 이 원자로 는 산화물, 질화물, "실리사이드 '및 기타 반도체 재료 를 포함 하여 매우 다양 한 물질 을 처리 할 수 있으며, 매우 정밀 하고 정확 하다. AMAT Centura AP DPS II의 역학은 "동적 압력 감지 시스템" (DPS) 을 기반으로합니다. 이 혁신적인 시스템은 가공 또는 성장하는 재료를 정확하고 조정 가능한 압력 제어를 허용합니다. "가스 '의 압력 과 흐름 과 반응물 들 의 온도 는 모두 정밀 한 수준 으로 감시 되고 유지 된다." 가스' 는 "가스 '의 압력 과 흐름 을 모두 감시 한다. 다른 온도 (temperature) 에서 재료를 가공하는 능력으로 가공되는 재료 (material) 유형을 유연하게 만들 수 있습니다. APPLIED MATERIALS Centura AP DPS II는 또한 질소 산화물, 질소 및 아르곤과 같은 반응물을 원자로 실에 제공하는 데 사용되는 가스 매니 폴드를 특징으로합니다. 이 "가스 '매니폴드 는 약실 에서" 가스' 의 제어 된 흐름 을 허용 하여 그 과정 의 정확성 을 보장 해 준다. 또한 Plunger Injection System (PIS) 은 충전 재료의 주입을 정확하게 제어합니다. Centura AP DPS II의 디자인도 최대 안전을 위해 제작되었습니다. 탄력성 안전 방패 (Safety Shield) 는 스플래터를 방지하고 이중 샤모늄 반응 방은 과정을 최적의 온도로 유지합니다. 또한, 원격 셔터가 원자로 챔버 (reactor chamber) 에 연결되어 사용 중일 때 완전한 격리를 보장합니다. 또한 AMAT/APPLIED MATERIALS Centura AP DPS II (AMAT/APPLIED MATERIALS Centura AP DPS II) 에 있는 고급 자동화 기술은 사용자가 실시간으로 모니터링할 수 있는 기능과 원자로 공정의 특정 측면을 제공합니다. 즉, 보다 정확하고 효과적으로 제어할 수 있고, 시간이 지남에 따라 프로세스가 어떻게 변경되었는지에 대한 데이터 (data) 도 제공할 수 있습니다. 효율성과 관련하여 AMAT Centura AP DPS II는 동급 최고입니다. 최첨단 디자인과 고급 제어 (Advanced Control) 기능을 통해 반도체 재료를 처리할 수 있는 안정적이고 신뢰할 수 있는 장치입니다. 정확한 압력 제어 시스템과 강력한 부식 방지 구조로, APPLIED MATERIALS Centura AP DPS II는 반도체 산업에 사용되는 재료 성장, 처리 및 특성화에 이상적인 장치입니다.
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