판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura ACP #9314859

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura ACP는 반도체 제조에 사용되는 강력하고 신뢰할 수있는 원자로입니다. ACP 원자로는 다양한 집적 회로에 대한 재료를 배치, 에치 및 처리하도록 설계되었습니다. 하드웨어 기능에는 다음이 포함됩니다. 1) 넓은 웨이퍼 크기 범위: ACP는 표준 실내 온도에서 고온 공정에 이르기까지 다양한 웨이퍼 크기를 수용 할 수 있습니다. 2) 정확한 온도 조절: ACP에는 닫힌 루프 제어 장비가 있으며, 이는 모든 프로세스에서 정확한 온도 조절을 보장합니다. 3) 높은 반복성: ACP의 균일 한 흐름 생성기 10은 증착 및 에칭 과정에서 높은 반복성을 보장합니다. 4) 정확한 공정 가스 전달: ACP는 최대 4 시그마의 교정 정확도와 동시에 여러 가스를 정확하게 전달 할 수 있습니다. 5) Endpoint monitoring: ACP에는 광학 또는 기타 방법을 통해 endpoint 조건을 모니터링하는 기능이 포함되어 있습니다. 6) 프로세스 모니터링: ACP에는 누출 감지 센서와 PMS (Advanced Process Monitoring System) 가 장착되어 있어 프로세스를 실시간으로 정확하게 모니터링합니다. 7) 고급 안전 연동 장치 (Advanced Safety Interlock Unit): ACP는 최첨단 안전 연동 기계로 설계되어 프로세스를 안전하고 효율적으로 유지합니다. 8) 자동 기판 로드/언로드: ACP에는 자동화된 카세트 로드 도구가 있으며, 기판 및 카세트의 로드, 언로드 및 교환이 매우 효율적입니다. 9) 영역 분할 자원: ACP는 플라즈마, 온도 또는 압력에 대해 영역 분할 자원을 할당하여 처리 조건을 최적화 할 수 있습니다. 10) 빠른 주기: AMAT Centura ACP는 빠른 처리 주기로 높은 처리량을 제공하도록 설계되었습니다. 요약하면, APPLIED MATERIALS Centura ACP 원자로는 반도체 제작을위한 재료의 증착, 에칭 및 처리에 사용되는 고급적이고 신뢰할 수있는 장비입니다. 하드웨어 기능 및 안전 연동 자산 (Safety Interlock Asset) 은 신뢰할 수 있고 견고한 원자로 (Reactor) 로 수많은 응용 프로그램에서 사용할 수 있습니다.