판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura ACP #293704588
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ID: 293704588
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2010
EPI System, 12"
(2) Chambers
EFEM
Factory interface
(2) TDK Load ports
YASKAWA Robot
Wafer aligner
ACM MF with batch L/L
FES
FIS
RTS
(2) Gas pallets
(2) Batch load locks
(2) Cooling stations
VHP Robot
Single arm
Facility tray
Upper frame
Cooling module
Gas panel remote with controller
Chamber AC Rack
UI Touch screen
Stand
H2/N2 Pallet
Cover
Door
Water box
Miscellaneous parts
Process kits
Chamber A:
HORIBA Z500 Mass Flow Controller (MFC)
Gases / Flow
H2 / 100 SLM
H2 / 30 SLM
HCL / 500 SCCM
PH3 / 500 SCCM
HCL / 20 SLM
DCS / 500 SCCM
Chamber C:
UNIT INSTRUMENTS Mass Flow Controller (MFC)
Gases / Flow
H2 / 100 SLM
H2 / 30 SLM
HCL / 500 SCCM
PH3 / 500 SCCM
HCL / 20 SLM
DCS / 500 SCCM
2010 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura ACP는 고급 재료 및 장치 구조 처리를 위해 AMAT가 설계 한 높은 처리량, 자동 원자로 장비입니다. 이 시스템은 연구원과 과학자들이 프로세스 파라미터 (process parameters) 를 빠르게 실험하고, 새로운 재료를 만들고, 정제하며, 복잡한 생산 공정에서 더 높은 수율을 달성 할 수 있도록 설계되었습니다. 이 장치는 통합 구성 요소 및 프로세스, 프로세스 로봇 코어 (process robotics core) 및 지능형 자동화 (intelligent automation) 를 통해 업계 최고의 기판, 고급 재료 및 장치 구조를 개발할 수 있습니다. AMAT Centura ACP 원자로기는 pRobot이라고하는 독특하고 혁신적인 공정 로봇 코어로 구동됩니다. 이 코어는 공구 (Tool) 의 프로세스와 운영에 효과적이고 안정적인 자동화를 제공합니다. pRobot에는 전자 제어 로봇 암 (robotic arm) 네트워크가 포함되어 있어 다양한 자산 매개변수 및 프로세스를 원격으로 모니터링, 관리, 제어할 수 있습니다. 이 코어는 모델이 안정적이고 일관되게 작동하도록 도와주며, 필요에 따라 사용자는 프로세스 체계를 쉽고, 빠르게 재구성하거나 변경할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS Centura ACP 장비는 고급 도구 모니터링, 자동화 및 기판 추적 기능도 갖추고 있습니다. 이러한 고급 기능을 사용하면 기판 손상을 최소화하고, 주기 시간을 최적화하고, 총 비용을 절감하며, 제품 구조의 정확하고 안정적인 구성을 보장할 수 있습니다. 또한, 이 시스템은 원격 모니터링 및 작동이 가능하도록 설계되었으며, 운영자는 장치의 현재 상태 (status) 및 성능에 대해 쉽게 알 수 있습니다. 이 실시간 모니터링을 통해 운영자는 프로세스 조건의 변화에 신속하게 대응하여 프로세스 (process) 수율을 극대화할 수 있습니다. Centura ACP 원자로 머신은 다양한 프로세스 최적화 도구를 통해 사용자에게 높은 유연성을 제공합니다. 이러한 도구에는 기판 준비, 열 매핑, 정액 스케줄링, 최적화된 프로세스 관리 등을 위한 소프트웨어 도구가 포함됩니다. 이 도구에는 사이클 레시피, 마무리 라인 기록, 최적화 보고서 등의 도구가 있습니다. 이러한 고급 툴을 사용하면 자산이 자동화에 최적화되고, 사용자가 다양한 기판을 빠르고 정확하게 처리할 수 있게 하며, 고급 (advanced) 구성 요구 사항을 충족할 수 있습니다. 전반적으로 AMAT/APPLIED MATERIALS Centura ACP 원자로 모델은 고급 기판, 재료, 장치 구조를 만들고 개발할 수 있도록 설계된 고급적이고 효율적인 도구입니다. 높은 수율, 일관된 성능, 안정적인 자동화를 보장하도록 설계되었습니다. 또한, 이 장비의 정교한 도구와 유틸리티는 사용자가 빠르고 쉽게 프로세스를 개발, 구체화하는 데 도움이 됩니다. 이 시스템은 다양한 연구/생산 응용프로그램에 적합한 선택입니다.
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