판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5300 Omega #293642211

AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5300 Omega
ID: 293642211
웨이퍼 크기: 8"
HDP System, 8" (2) Chambers Gas: SiO2.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5300 Omega는 고급 반도체 처리에서 수행되는 저k 유전체 CVD 응용 프로그램을 위해 설계된 고급 증착 원자로입니다. 이 원자로는 복잡한 구성 요소를 제작해야 하는 엔지니어에게 높은 처리량 (throughput) 과 정확도 (accuracy) 를 제공하기 위한 특정 목적으로 설계되었습니다. AMAT Centura 5300 Omega는 정확한 가스 분배 기능과 함께 고급 온도 조절 기술을 갖추고 있습니다. 온도 조절 기판 단계로 구성되며, 원하는 필름의 정확하고 균일 한 증착을 제공합니다. 이 과정 을 통해, 기질 을 10 초 내 에 정밀 하게 정의 된 공정 온도 로 가열 하는 능력 때문 에, 극히 빠른 "사이클 '시간 을 낼 수 있다. 또한, 정밀 한 "가스 '분포 는 모든 단일 기질 이 필요 한 증착" 가스' 의 균질 한 양 을 받도록 보장 해 주며, 이것 은 생산량 의 증가 를 초래 한다. 또한 APPLIED MATERIALS Centura 5300 오메가 (Omega) 는 고급 기술과 정교한 프로세스 제어 시스템의 독점 조합을 활용하여 모든 애플리케이션에 대한 정밀성을 제공합니다. 전체 장치는 대류 LPCVD 챔버, 최첨단 PECVD 원자로 및 안전 및 환경 모니터링 시스템으로 구성됩니다. 이 조합은 더 높은 수확량과 더 나은 예측 가능성을 허용합니다. 또한 Centura 5300 Omega 는 견고하고, 폐수형 (wastewater-safe) 구성과 사용자 친화적 인터페이스를 결합하여 환경에 향상된 생산성을 제공합니다. 원자로의 방수 설계 및 스테인리스 스틸 (Stainless-Steel) 부품은 자재 오염이 없는 환경을 유지하며, 장비가 가동되는 동안 여러 장전실을 쉽게 교환 할 수 있습니다. 향상된 속도와 정확성을 위해, 원자로는 또한 챔버 (chamber) 조건에 대한 운영자에게 실시간 정보를 제공하고 프로세스를 모니터링 및 제어 할 수있는 터치 스크린 디스플레이 (touchscreen display) 를 특징으로합니다. 마지막으로, AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5300 Omega 원자로는 가장 민감한 응용 프로그램을 위해 설계되어 높은 수준의 정확성과 반복 성을 제공합니다. 이를 위해, 마이너스 하전 입자가 칩에 결함을 유발하지 못하게하기 위해 저k 유전체 CVD (low-k dielectric CVD) 기술을 사용하며, 프로세스 매개 변수를 추적하고 정확도 향상을 위해 조정하는 독점 프로세스 제어 시스템을 사용합니다. 결론적으로, AMAT Centura 5300 Omega 원자로는 최고의 정확도가 필요한 응용 프로그램을 위해 특별히 설계된 높은 처리량, 낮은 위험 및 정확한 증착 장치입니다. 온도 조절 장치, 가스 분배 기능, 견고성 강화 (rugged construction), 사용자 친화적 인터페이스, 프로세스 제어 툴을 통해 고급 반도체 프로세싱을 위한 안정적이고 효율적인 선택이 가능합니다.
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