판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 #9402491

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200은 반도체 제작 산업에서 사용되는 최첨단 증착 반응 챔버입니다. 진공 기반 스퍼터링, 화학 증기 증착 및 열 산화의 기능을 제공하여 웨이퍼에 박막 금속 또는 유전체 층을 만듭니다. AMAT Centura 5200은 최대 작동 온도가 1,000 ° C인 24 인치 단일 웨이퍼 공정 챔버를 가지고 있습니다. 2 개의 독립적으로 제어 된 스퍼터 소스를 갖추고 있으며, 웨이퍼에 재료를 균일 하게 증착 할 수 있습니다. 또한 스퍼터링 및 산화와 같은 열 공정에 모두 사용될 수있는 2 개의 RF 전원이 포함되어 있습니다. APPLIED MATERIALS Centura 5200 (APPLIED MATERIALS Centura 5200) 은 자동화된 프로세스 제어 장비로, 웨이퍼 코팅의 정확성을 보장하는 즉각적인 피드백을 제공합니다. 또한 사용자는 이 시스템을 통해 실시간 프로세스 데이터를 보고 필요한 경우 배치 (deposition) 매개변수를 수정할 수 있습니다. 이 챔버 (Chamber) 에는 정밀 계량 기능이있는 가스 전달 장치 (gas-delivery unit) 와 사용자가 다양한 프로세스를 정확하게 제어 할 수있는 일련의 밸브 (Valv) 가 있습니다. 센츄라 5200 (Centura 5200) 은 고압 격납기 (High-Pressure Containment Machine) 와 같은 여러 가지 안전 기능으로 설계되어, 유해 물질의 잠재적 출시로부터 환경과 인력을 보호합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200은 대용량 생산 및 연구 응용 분야에 이상적인 기계입니다. 운영 수명 (Operating Life) 과 프로세스 무결성 (Protection Process Integrity) 이 길어 가장 비용 효율적인 방식으로 최고 품질의 박막 (Thin Film) 을 만드는 데 적합합니다. 증착법 (Deposition Method), 정밀한 공정 제어 (Process Control) 및 안전 (Safety) 기능의 독특한 조합은 장치 개발자 및 제조업체 중에서 선도적인 선택임을 보장합니다.