판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 #9261088
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ID: 9261088
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1998
CVD System, 8"
Process: HPTEOS
(2) Loadlocks
Robot assembly
(3) CVD Deposition chambers
Chamber type: DxZ
Includes:
(5) EBARA Pumps
System controller
AA20 Loadlock pump
AA40W Pump
AA70W Pump
AA20 Buffer pump
ADCS TEOS Cabinet
TEOS Canister size: (5) Gallons
Process tank pressure (Liquid Cabinet), TEOS: 35
AMAT 1 Heat exchanger
Heat exchanger temperature: 65°C
Mainframe:
OTF
HP End Enduro Robot
VEXTA Stepper motor, 5-Phase
Process chamber:
(3) ADVANCED ENERGY RFG 2000-2V RF 1 Generators
(3) ADVANCED ENERGY PDX 900-2V RF 2 Generators
(5) ADVANCED ENERGY 3155094-003A RF Matches
MKS 122BA-0100EB-S Pressure manometer, 100 torr
Pressure control: Throttle valve
0040-32148 Heater
Process temperature: 400°C
MFC Gases:
N2: 3 slm
O2: 50 sccm
NF3: 500 sccm
C2F6: 500 and 1000 sccm
O2: 2 slm
He: 1 and 2 slm
LFM: STEC, TEOS 1.5 g/min
0500-01047 Endpoint
3870-04383 Injector valve
IV Line temperature, TEOS: 100
Gasline temperature: 100
1998 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200은 고급 패키지 장치 생산을 위해 설계된 고성능 반도체 웨이퍼 구성 원자로입니다. 원자로는 특허를받은 APM의 PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) 기술을 기반으로합니다. AMAT Centura 5200은 PECVD 기술을 사용하는 고급 패키지 반도체 웨이퍼 구성 원자로입니다. 5200 모델은 결함이 최소화된 고품질 칩을 생산하는 효과적인 수단을 제공합니다. 원자로는 금속 및 유전체 증착, 에치 및 공정 후 처리가 가능합니다. PECVD는 고정밀 공정 반복성, 산화물 스트레스 및 필름 두께 제어 향상, 정전기 손상 저항력 향상 등을 제공합니다. 이를 통해 APPLIED MATERIALS Centura 5200으로 제조 된 칩은 뛰어난 신뢰성을 갖춘 고출력 작동이 가능합니다. Centura 5200은 직경 2 인치에서 12 인치 사이의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 원자로 (Reactor) 에는 고급 동작 제어 시스템 (Motion Control System) 과 고급 열 제어 및 재료 처리 시스템이 장착되어 있어 생산 정확성과 반복 가능성을 극대화합니다. 원자로 (reactor) 는 생산에서 가장 높은 수준의 정확성을 보장하기 위해 2 개의 반응물 가스 믹서와 자동 가스 흐름 제어를 특징으로합니다. 이러한 기능을 통해 AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200에서 생산되는 칩의 품질을 향상시킬 수있는 특수 프로세스를 사용할 수 있습니다. AMAT Centura 5200은 정밀 프로세스 제어, 빠른 경화, 우수한 접착, 향상된 수율, 입자 생성 감소 등 다양한 기능을 제공합니다. 이를 통해 더 저렴한 비용으로 더 나은 품질 칩을 생산할 수 있습니다. 원자로의 첨단 기술을 통해 제조업체는 새롭고 비용 효율적인 프로세스를 탐구 할 수 있습니다. 최적의 성능을 보장하기 위해 APPLIED MATERIALS Centura 5200에는 시스템 문제를 감지하고 문제를 해결할 수 있는 진단 시스템이 장착되어 있습니다. 공장 지원 팀 (Factory Support Team) 은 시스템에 대한 지원이 필요한 고객에게 지원을 제공합니다. Centura 5200 원자로는 모든 반도체 생산 문제에 대해 강력하고 효율적인 솔루션을 제공합니다. 고급 PECVD 기술로 구축 된이 원자로는 고성능, 안정적인 칩 생산을 제공합니다. 이를 통해 수율 향상, 칩 품질 향상, 생산 비용 감소가 가능합니다. 원자로는 또한 고급 모션 제어, 열 제어, 재료 처리 시스템, 자동 가스 흐름 제어 등 다양한 기능을 갖추고 있습니다. 유연한 설계로 AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200은 모든 반도체 제작 라인에 이상적인 동반자입니다.
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