판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 #9253559

AMAT (APPLIED MATERIALS) AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 원자로는 산화물, 질화물 및 기타 재료를위한 고급 공정 챔버입니다. 이 원자로는 반도체 (semiconductor) 와 고급 포장장치 제작 (advanced packaging device fabrication) 에 주로 사용되며, 이들 분야에서 가장 인기 있고 다목적 원자로 중 하나입니다. 다목적 기능을 갖추고 있으며 뛰어난 생산성을 위한 고급 기능을 제공합니다. AMAT Centura 5200 원자로는 최대 처리 챔버 용량이 2.5-16 입방 피트, 0.1 mTorr 압력 등급보다 높은 유연하고 고급 공정 챔버입니다. 플라즈마 강화 화학 증발 (PECVD), 대기 및 저압 화학 증발 (APCVD 및 LPCVD), 고온 및 저온 연간 및 빠른 열 처리 (RTP) 를 포함한 다양한 공정 기능이 있습니다. 공정 기판의 열 스트레스를 줄이기 위해 특허 출원 중인 "쿨 에지 (Cool Edge)" 기능과 강화 된 기판 수준의 정확성을 위해 통합 된 이중 마이크로미터 기판 레벨러 및 접촉 시스템이 장착되어 있습니다. 또한 Adaptive Tune-up 자동 챔버 최적화 시스템, 듀얼 마이크로미터 컨택트 시스템이 통합 된 Precision 기판 레벨, 듀얼 포트 펌핑 스테이션, 자체 포함 전원 공급 장치, Ultra-Flow 기술이 적용된 가스 전달 시스템 등 다양한 추가 기능과 장점이 있습니다. 단일 크리스탈 웨이퍼, MEMS, CMOS, IC, 기타 고급 패키징 장치 등 다양한 반도체 장치의 생산 요구를 충족하도록 설계되었습니다. APPLIED MATERIALS Centura 5200 원자로의 향상된 프로세스 성능 및 안정성은 전반적인 생산량 및 프로세스 일관성을 향상시켜 보다 안정적인 제품을 생산할 수 있게 해 줍니다 (영문). 컴팩트한 디자인과 사용 편이성 때문에 연구 및 생산 응용 분야에 이상적입니다. 최신 반도체 (semiconductor) 제조 환경을 위한 완벽한 선택이라 할 수 있습니다.