판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 #9251054

AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200
ID: 9251054
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2005
CVD System, 8" WXZ (4) Chambers 2005 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200은 현대 반도체 산업의 요구를 충족시키기 위해 설계된 고급적이고 신뢰할 수있는 반도체 증착 장비입니다. 이 시스템은 뛰어난 성능, 빠른 프로세스 속도, 뛰어난 결과 (높은 처리량, 대용량 기판 포함) 를 제공하도록 설계되었습니다. 이 장치는 최신 레이어 별 재료 증착 (layer-by-layer material deposition) 기술을 기반으로하며 동시에 여러 레이어를 증착할 수 있습니다. AMAT Centura 5200은 전체 기판 표면에 걸쳐 높은 균일성, 높은 적합성 및 최소 오염 수준을 갖는 정밀한 물질 증착을 허용합니다. 이 기계는 클로즈드 루프 레이저 레벨링 (closed-loop laser-leveling) 및 정확한 증착율 모니터링과 같은 초정밀 부품을 사용하여 필름의 일관되고 안정적인 증착을 보장합니다. 또한, 이 도구의 로봇 로드 잠금 (robotic load lock) 은 기판의 빠르고 자동화된 로드, 언로드 및 전송을 허용합니다. 자산에는 다중 소스, 다중 구성 소스 챔버도 장착되어 있습니다. 이를 통해 최대 4 개의 서로 다른 재료를 동시에 증착할 수 있으며, 정확한 두께 제어 및 높은 증착율 유연성을 제공합니다. APPLIED MATERIALS Centura 5200은 매우 강력하여 0.023nm/min의 필름 속도로 3.6 nmol/min의 출력 수준을 제공합니다. 유연성을 높이기 위해, 모델은 또한 여러 주파수에서 실행할 수 있으며, 온도 범위가 넓습니다. Centura 5200은 고급 제어 기능도 제공합니다. 이 제품은 분산 컴퓨터 아키텍처 (Distributed Computer Architecture) 를 사용하며, 여러 개의 임베디드 컴퓨터가 장비의 다양한 구성 요소에 통합되어 있습니다. 이를 통해 시스템의 프로세스 매개변수 (예: 가스 압력, 플라즈마 전력) 를 정확하게 제어할 수 있습니다. 또한 데이터 로깅, 알라밍, 실시간 보고 기능을 제공하여 보다 쉽게 작업을 수행할 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200은 모두 박막 증착을위한 고급, 신뢰성, 사용자 정의 가능한 도구입니다. 반도체 제조업체들이 생산성을 높이고 프로세스를 최적화할 수 있는 "큰 성과 '를 거둘 수 있다. & # 160; & # 160;
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