판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 #9004510

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200은 반도체 산업의 다양한 응용 분야에 사용되는 원자로입니다. 실리콘, 갈륨 비소 및 폴리 실리콘 (polysilicon) 과 같은 재료의 고수율, 결함이없는 기질을 생산하도록 특별히 설계되었습니다. AMAT Centura 5200의 주요 구성 요소는 용광로, 메인 챔버 및 공정 챔버입니다. 용광로 (furnace) 는 장비의 주요 전력 중심이며, 시스템의 온도를 제어하는 데 사용되며, 고온 (high temper) 이나 진공 (vacuum) 이 필요한 프로세스에 필요한 전원을 제공합니다. 주 챔버 (main chamber) 는 기판을 처리하기 위해 배치하는 장치의 주요 영역입니다. 또한 기계 작동에 필요한 계측 (instrumentation) 과 제어 (control) 도 포함되어 있습니다. 공정 챔버 (process chamber) 는 주 챔버 (main chamber) 내에 있으며 기판의 실제 처리에 필요한 모든 장비를 포함합니다. APPLIED MATERIALS Centura 5200은 도펀트 임플란트에서 epitaxial growth, photoresist stripping 및 etching에 이르기까지 다양한 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 또한 원자층 증착 (ALD) 및 화학 기계 평면 화 (CMP) 와 같은 고급 공정 흐름을 지원합니다. 이 도구에는 광범위한 레시피 라이브러리가 있으며, 특정 응용 프로그램에 맞게 레시피 라이브러리를 사용자 정의할 수 있습니다. Centura 5200은 고급 제어 및 기술을 갖춘 완벽하게 통합된 자산입니다. 모델 설정 및 레시피에 쉽게 액세스 할 수있는 사용자 친화적 인 HMI (Human-Machine Interface) 가 특징입니다. 이 장비는 또한 낮은 열 구배 제어 (low thermal gradient control) 및 향상된 온도 안정성을 갖추고 있으므로 반복 성과 정확성이 향상됩니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200은 반도체 업계의 많은 응용 분야에 적합한 선택으로, 고수율, 결함이 없는 기판, 고급 프로세스 흐름을 제공합니다. 신뢰성 있고 다용도 인 원자로 시스템이며, 품질과 혁신에 대한 AMAT (AMAT) 의 노력이 뒷받침됩니다.