판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 #293818639

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200은 집적 회로 (IC) 제조에서 웨이퍼 얇음, 에칭 및 기타 중요한 프로세스에 사용되는 업계 최고의 반도체 생산 원자로입니다. 이 원자로는 안정성과 높은 처리량을 위해 설계되었습니다. 수직로 (vertical furnace) 레이아웃이 있어 웨이퍼 로드 도크에 쉽게 액세스 할 수 있습니다. 원자로 챔버는 부식 내성으로 유명한 니켈 기반 수퍼 합금 인 하 스텔 로이 C-22 (Hastelloy C-22) 로 만들어져 뛰어난 신뢰성과 긴 작업 수명을 제공합니다. 수직 용광로 (vertical furnace) 레이아웃은 또한 최적의 균일성을 보장하여 노즐 막힘을 줄이고 반복 가능한 공정 결과를 제공합니다. 이것 은, 일관성 있는 공정 상태 를 유지 하는 자동화 된 "가스 '조절 장비 에 의하여 더욱 강화 된다. 닫힌 루프 (closed-loop) 프로세스 제어 시스템은 정확한 실시간 모니터링 및 웨이퍼 얇은 프로세스를 세밀하게 조정합니다. AMAT Centura 5200은 자동 웨이퍼 처리를 제공하며, 총 이동 자동화 및 적재 및 언로드를위한 진공 시스템도 제공합니다. 이는 클린 존 (Clean Zone) 전송 및 자동 게이징과 결합하여 생산성을 크게 향상시킵니다. 이 장치에는 다양한 프로세스 요구 사항을 충족하는 다양한 옵션 (옵션) 이 장착되어 있습니다. 이 옵션에는 in situ 광학 방출 분광법, 통합 헬륨 누출 탐지 기계, 자동 청소 도구 및 자동 필름 증착 자산이 포함됩니다. APPLIED MATERIALS Centura 5200은 반도체 업계에서 제품의 품질을 유지하고, 반복 가능한 결과를 제공하고, 생산성을 높이는 데 필수적인 도구입니다. 성능과 신뢰성을 통해 웨이퍼 라이닝 (Wafer Thinning) 및 에칭 프로세스를위한 1 차 생산 원자로가 됩니다.