판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 #293614968

AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200
ID: 293614968
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1997
System, 8" 1997 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200은 주로 집적 회로 생산에서 박막 유전체 증착을위한 고급 공정 응용 프로그램을 위해 설계된 원자로입니다. 200mm 웨이퍼 (wafer) 범위의 에칭 도구로서, 높은 수준의 프로세스 제어 및 신뢰성을 갖춘 고급 성능을 제공합니다. 그것 은 "박막 '물질 의 표면 에 전기장 을 도입 하여 만들어지는 기질 방향 을 가진 식각" 시스템' 즉 보통 "이산화실리콘 '을 가지고 있다. AMAT Centura 5200은 다재다능하며, 높은 선택성, 접촉 및 비 접촉 에칭, 층 침착 및 수동화 산화 등 다양한 프로세스를 지원할 수 있습니다. 또한 처리량이 높은 애플리케이션도 제공하며, 최대 7 개의 프로세스 작업을 동시에 수행할 수 있습니다. 또한 APPLIED MATERIALS Centura 5200 (APPLIED MATERIALS Centura 5200) 에는 에칭의 균일성을 정확하게 제어하는 기능, 웨이퍼 온도 및 압력 제어 기능 등 프로세스 매개 변수를 정확하게 제어 할 수있는 고급 기능이 있습니다. Centura 5200 을 사용하면 신속하고 반복 가능한 etch 주기로 인해 프로세스 안정성이 향상됩니다. 공정 매개변수 (process parameter) 의 고급 미세 튜닝을 통해 균일성 (unifority) 및 깊이 제어 (depth control) 와 같은 까다로운 프로세스 요구사항에 대해 높은 에치 수율을 제공할 수 있습니다. 아크 프리 (arc-free) 홍수, 자동화된 프로세스 모니터링 및 실시간 에치 레이트와 같은 고급 안전 기능도 갖추고 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200은 또한 박막 증착 및 에칭에 대한 높은 처리량 요구 사항을 충족하도록 고유하게 구성됩니다. 첨단 냉각 시스템은 높은 증착율 (deposition rate) 과 냉각 시간 (cooling time) 을 허용하며 단일 웨이퍼 또는 다중 웨이퍼 어플리케이션에 대해 구성할 수 있습니다. AMAT 센츄라 5200 (Centura 5200) 의 고급 온도 제어 기능은 기존 시스템으로 달성 할 수있는 것보다 더 균일하고 반복 가능한 결과를 제공합니다. APPLIED MATERIALS Centura 5200은 견고하고 잘 설계된 시스템으로, 가장 까다로운 상황에서도 안정적인 결과를 얻을 수 있습니다. 유지 보수가 쉽고, 다양한 호환 재료가 있으며, 다양한 산업용 (industrial application) 에서 사용할 수 있습니다. 센츄라 5200 (Centura 5200) 은 에칭 및 박막 증착을위한 안정적이고 고급 프로세스를 원하는 사용자에게 적합한 선택입니다.
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