판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 #293607517
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AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200은 구리 응용 프로그램을 위해 특별히 설계된 고급 반도체 장치 제조 장비입니다. IRS (Integrated Reactor Subsystem) 와 MRS (Multi-Reactor Subsystem) 로 구성된 건식 에치 원자로 시스템입니다. IRS는 상위 원자로 (Upper Reactor) 와 하위 원자로 (Lower Reactor) 의 두 원자로로 구성되며 최대 400 가지의 제품을 처리하도록 구성 될 수 있습니다. MRS는 4 개의 추가 독립 원자로로 구성되며, 2 개는 단일 구성으로 구성되며, 웨이퍼의 고/소량 생산이 가능합니다. 어퍼 반응기 (Upper Reactor) 는 기본 기질이 손상되지 않고 금속, 산화물, 질화물 및 기타 필름을 정확하게 제거하도록 설계된 금속 및 실리콘 산화물 에치 원자로입니다. 챔버에서 높은 속도의 펄스를 사용하는 에치 인 플로우 (etch-in-flow) 유닛으로, 높은 수준의 제어를 가진 필름의 균일 한 에칭을 보장합니다. 로어 리액터 (Lower Reactor) 는 표준 에칭 및 고밀도 플라즈마 에칭 프로세스를 모두 사용할 수 있으며, 높은 공정 반복 가능성과 수확량을 가진 고가로 비율 기능을 제공합니다. 이 기계는 실시간 제품 피드백을 통해 레시피 (레시피) 및 프로세스 최적화 기능이 내장된 직관적인 자동화 소프트웨어 모듈을 제공합니다. 또한, 이 툴에는 신속한 오류 식별 및 수정이 가능한 고급 진단, 프로세스 루틴, 유지 보수 계획이 있습니다. 이 자산은 신뢰성이 높고, 효율적이며, 비용 효율적이며, 반도체 장치 제조에 적합한 자산입니다. AMAT Centura 5200은 반도체 소자 제조 시장에서 구리 응용 분야를위한 탁월한 건식 원자로 모델입니다. 다중 원자로는 사용자에게 다양한 에칭 기능 및 공정 반복 기능을 제공합니다. 또한 고급 진단 (Diagnostics), 프로세스 루틴 (Process Routines) 및 유지 보수 계획 (Maintenance Plan) 은 효율성이 높은 장비로 고객에게 큰 가치를 제공합니다.
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