판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 #188648

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200은 반도체 칩 생산에 사용되는 고성능, 신뢰할 수있는 전자 빔 원자로입니다. 이 챔버 형 원자로는 빠른 처리량, 엄격한 프로세스 제어 매개변수, 최대 수율, 까다로운 생산 주기 등을 처리하도록 특별히 설계되었습니다. AMAT Centura 5200에는 진공 인클로저 내부에 배치 된 1 피스 엔드 뷰 챔버 (one-piece end-view chamber) 가 있으며, 본체와 전기 부품 (예: 전원 공급 장치, 난방 요소, 압력 게이지 및 챔버 도어) 이 있습니다. 원피스 챔버 바디 (One-piece chamber body) 는 스테인리스 스틸 (Stainless Steel) 로 만들어졌으며, 반도체 칩을 공기 입자 및 반응성 종으로부터 오염으로부터 보호하기 위해 특별히 설계되었습니다. APPLIED MATERIALS Centura 5200의 챔버는 질소와 같은 비활성 가스로 채워져 있으며, 이어서 최대 400 도의 온도로 가열됩니다. 이 온도는 가스의 압력을 약 1.2 토르로 증가시킵니다. 그런 다음 가스는 전자 빔 건에 의해 챔버 내에서 폭발합니다. 약실 내 의 폭발 은 "플라즈마 '를 만들어 내는데, 이것 은" 필름' 과 재료 를 반도체 "칩 '에 처리 하고 에칭 하고 증착 시키는 데 적합 하다. 보일러는 전동 외부 실린더 (motorized outside cylinder) 와 유전체 매니 폴드 (dielectric manifold) 의 두 가지 개별 요소의 어셈블리로, 챔버 내부의 RF 필드 분포를 제어하고 최적의 균일성을 보장하는 데 도움이됩니다. 내부 실린더는 세라믹 지원 (ceramic supports) 에 의해 고정되어 낮은 전기 손실을 보장하며, 이는 플라즈마 균일성을 보장하고 일관된 웨이퍼 균일성을 유지하는 데 도움이됩니다. 약실 뒤 에 있는 전자 "빔 '총 은 가공" 가스' 를 점화 시키는 데 사용 되고, RF "에너지 '는" 웨이퍼' 에 적용 된다. 프로세스 매개변수를 제어하기 위해 센츄라 5200 (Centura 5200) 은 다양한 전원 공급 옵션을 제공하여 높은 수준의 정확도와 정확도를 제공합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 원자로는 1000 ° 이상 (섭씨 1000 °) 의 최고 온도를 날카로운 온도 프로파일로 전달하여 프로세스가 올바른 속도로 수행되도록 할 수 있습니다. AMAT Centura 5200의 프로세스 균일성과 웨이퍼 균일성은 업계에서 가장 높습니다. 전반적으로, APPLIED MATERIALS Centura 5200은 고도로 재현 가능하고 신뢰할 수있는 반도체 제조를 제공하는 고급, 고성능, 신뢰할 수있는 전자 빔 원자로이며, 더 나은 수율 및 생산 시간을 제공합니다. 이 제품은 가장 까다로운 반도체 생산 요구 사항을 충족하도록 설계되었으며, 프로세스 정밀도 (process precision) 및 프로세스 제어 (process control) 수준을 높여줍니다.