판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 #148644

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200은 고급 반도체 웨이퍼 제조를 위해 설계된 Epitaxial Reactor입니다. 세계 에서 가장 작은 "트랜지스터 '뿐 아니라, 속도 와 성능 이 뛰어난" 트랜지스터' 를 만드는 데 적합 하다. AMAT Centura 5200은 듀얼 포켓 프로세스 챔버 (Dual Pocket Process Chamber) 이며, 더 큰 챔버는 높은 스루 풋을 제공하고 작은 챔버는 더 정밀도를 제공합니다. 고급 자동 로드 (auto-loading) 및 로드 (loading) 고정 장비는 깨끗한 환경에서 효율적이고 안정적인 생산 프로세스를 보장합니다. 원자로에는 우수한 이온 이온 이식 및 에칭 공정이 가능한 헤비 이온 소스 (Heavy Ion Source) 가 장착되어 있습니다. 또한 가장 높은 기판 균일성을 보장하기 위해 공정 용량을 측정하는 4 개의 고급 센서 클러스터 인 MAXC 균일 성 시스템 (MAXC uniformity system) 이 포함되어 있습니다. APPLIED MATERIALS Centura 5200의 이온 소스 및 균일 장치는 MESA Advanced Plasma Source로 구동됩니다. 이것은 광범위한 속도 및 프로세스 레시피에 비해 탁월한 에치 속도, 일관된 전력, 우수한 프로세스 안정성, 균일성을 제공합니다. Centura 5200은 고급 트랙 머신 기술과도 통합될 수 있습니다. 이 고급 도구는 와퍼를 전송하기위한 로봇 암 (robotic arm) 을 특징으로하며, 정확도와 정밀도가 일치하지 않습니다. 이 자산은 사전 할당된 레시피나 생산 속도에 관계없이 원활한 운영을 제공합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200은 에너지 효율적인 원자로이며, 품질이나 속도를 그대로 유지하면서 사전 설정된 레시피로 에너지 절감을 허용합니다. 교정이없는 챔버 온도 제어 (calibration-free chamber temperation control) 및 고귀한 가스 정화 모델이 있으며, 둘 다 AMAT Centura 5200이 환경 규정을 준수하고, 원격 진단을 통해 간편한 유지 보수 및 서비스를 제공하며, 고객 요구 사항을 충족하도록 맞춤 구성할 수 있습니다. 이것은 APPLIED MATERIALS Centura 5200의 기능을 간략하게 설명합니다. 탁월한 속도와 성능을 지닌 고급 반도체 웨이퍼 (Wafer) 제작 원자로, 다용도 로드 시스템, 고밀도, 광범위한 프로세스 제어. 현대 반도체 제작 요구에 이상적인 선택입니다.