판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 WxZ #9280941

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 WxZ 원자로는 프로세스 엔지니어가 대용량 고급 패키징 작업에서 최적의 제조 결과를 얻을 수 있도록 설계된 고성능 장비입니다. 이 멀티 스테이션 플랫폼은 고속 온도 조절, 프로세스 가스 자동화, 완전 폐쇄 루프 제어, 빠른 챔버 회전율 등 다양한 기능을 갖추고 있습니다. 이 시스템은 3D NAND, nanowire 메모리, MEMS, MEMS 패키징 및 RF/millimeterwave 제품을 포함한 다양한 애플리케이션을 위한 포괄적인 프로세스 개발, 생산 및 특성 솔루션에 통합되었습니다. AMAT Centura 5200 WxZ 원자로 (Reactor) 는 설계자가 고객의 요구나 기술 요구를 변화시키는 데 맞춰 운영 규모를 일상적으로 확장 또는 축소할 수 있게 해주는, 완벽하게 맞춤 구성이 가능하고 확장 가능한 워크스테이션 설계입니다. 이러한 유연성은 최대 5 개의 웨이퍼 크기를 생성하며 프로세스 단계 간 신속한 전송을 용이하게 합니다. 또한 세계에서 가장 작은 온도 조절 구역 (temperature-controlled zone) 을 자랑합니다. 이를 통해 중요한 프로세스에 대한 최적의 온도 정확도와 엄격한 온도 제어가 가능합니다. APPLIED MATERIALS Centura 5200 WxZ (APPLIED MATERIALS Centura 5200 WxZ) 는 또한 장치 작동 시 운영자 프롬프트와 시각적 프롬프트를 제공하여 프로세스 엔지니어의 효율성을 극대화하기 위해 설계된 차세대 제어 인터페이스를 갖추고 있습니다. 강력한 고급 컨트롤러와 직관적인 터치스크린은 전체 차량, 웨이퍼 (wafer), 공구 수준의 제어를 제공하며 실시간 데이터 피드백이 가능하므로 운영 시나리오 변화와 프로세스 개선 구현에 더 빠른 반응을 가져올 수 있습니다. 원자로는 또한 프로세스 레시피 캡처 및 저장, 프로세스 램프 속도 측정, 데이터 아카이브 추적 (trace in data archive) 등의 기능을 갖추고 있습니다. 이 머신은 또한 사용자 친화적 인 가스 전달 모듈 (gas delivery module) 을 제공하여 프로세스 엔지니어가 가스 흐름을 사용자 정의하고 자동화하여 작업 시 반복성과 정확성을 높일 수 있습니다. 이 기능의 자동 압력 제어 (Automated Pressure Control) 는 안정적인 가스 흐름을 유지하므로 처리 처리량과 균일성이 빠릅니다. 마지막으로, Centura 5200 WxZ 원자로는 고급 프로세스 최적화 기능을 제공하여 프로세스 엔지니어가 여러 프로세스 최적화 곡선에 액세스하여 온도 정확성과 일관성을 보장합니다. 이 도구에는 빠른 다이-투-다이 (die-to-die) 및 서브-다이 프로세싱을위한 내장 배치 호이스트 (batch hoist) 기술과 현장 수준의 특성화를위한 완전 자동화 된 도량형 스테이션이 포함되어 있습니다.