판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 WxZ #9056053

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 WxZ 원자로는 반도체 제조를 위해 설계 및 제작 된 다용도 및 고급 시스템입니다. 이 도구는 화학 증기 증착 (CVD), 물리적 증기 증착 (PVD), 에피 택시 및 etch를 포함한 다양한 프로세스에 사용할 수 있습니다. 또한 프로세스 매개변수 (parameter) 를 정확하게 제어하여 디바이스 구성의 최고 품질과 반복 가능성을 보장합니다. AMAT Centura 5200 WxZ 원자로는 모듈식 설계를 통해 다양한 프로세스에 맞게 유연성과 확장성을 구성할 수 있습니다. 직관적인 터치 스크린 HMI (Human-Machine Interface) 를 통해 복잡한 프로세스 제어, 모니터링 및 진단을 할 수 있습니다. MFC (Mass Flow Controller) 는 가스가 최상의 결과에 필요한 정확한 흐름으로 전달되도록 보장하는 반면, 온도, 압력은 프로세스 특성화 개선을 위해 정확하게 모니터링, 제어할 수 있습니다. 이러한 기능을 사용하면 처리 매개변수를 정확하게 제어해야 하는 사용자에게 적합한 선택 (FOS) 이 됩니다. APPLIED MATERIALS Centura 5200 WxZ 원자로에는 스테인리스 스틸 나선형 인서트 라이너 및 PTFE 상단 뚜껑을 사용하여 우수한 열 전도 및 안정성을 보장하는 진공실이 있습니다. 저용량 프로세싱 챔버 (low-volume processing chamber) 는 보다 에너지 효율적인 설계를 제공하여 처리 시간을 줄이고 수율을 향상시킵니다. 이 신뢰할 수있는 챔버의 다른 기능으로는 유지 보수 및 컴포넌트 교체를 위한 간편한 액세스, 프로세스 일관성 향상을 위한 향상된 진공 보류 시간 (vacuum hold time) 등이 있습니다. Centura 5200 WxZ 원자로에는 실시간 프로세스 모니터링, 통합 레시피 개발, 향상된 데이터 분석 등 고급 기능을 제공하는 특화된 QuartzView (TM) 운영 소프트웨어가 장착되어 있습니다. 이 소프트웨어는 포괄적인 프로세스 제어 및 최적화를 위해 CAD/CAM 시스템과 함께 사용할 수 있습니다. 또한 AMAT Advanced Material Analysis Tool (MAT) 과 호환되므로 반도체 업계에서 최신 기술을 활용할 수 있습니다. 요약하자면, AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 WxZ 원자로는 탁월한 프로세스 유연성과 호환성을 갖춘 고성능 시스템입니다. 고급 HMI, MFC, 온도 및 압력 제어, 저용량 챔버 설계 및 전문 운영 소프트웨어는 고객에게 반도체 프로세스를 위한 완벽한 솔루션을 제공합니다. 안정적이고 효율적인 이 시스템은 다양한 애플리케이션에 최상의 품질 (Quality) 결과를 제공할 것을 약속합니다.