판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 WxZ WCVD #9008251
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판매
ID: 9008251
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 1997
APPLIED MATERIALS Centura 5200 WxZ WCVD WxZ System, 6" SMF
Voltage: 208 V, 3 phases
Load lock: (2) narrow body
Robot: HP
(3) WxZ chambers
CHA: WxZ W chamber
CHB: WxZ W chamber
CHC: N/A
CHD: WxZ W chamber
CHE: Cool down
CHF: Orienter
Monitor: (2) sets
Pumps: (3) sets
UPS: (1)
NESLAB: (1)
Chiller: (1)
GAS BOX: (2) sets
N2 Box: (1)
Crated, vacuum sealed
1997 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 WxZ WCVD (chemical vapor deposition) 원자로는 다양한 제품의 표면에 박막 층을 배치하도록 설계된 고급 반도체 처리 장비입니다. Centura 5200 WxZ는 복합 반도체 및 금속 응용을위한 균일 한 박막 및 등각 박막을 입금하도록 특별히 설계되었습니다. 이것은 저온 물리적 증발 (PVD), 대기압 화학 증착 (APCVD) 및 광범위한 화학 증착 (WCVD) 을 포함한 다양한 기술을 통해 달성됩니다. 센츄라 5200 WxZ (Centura 5200 WxZ) 는 증착 환경에서 불순물을 제거하기위한 고 진공 챔버를 갖추고 있으며, 공정 중 오염 가능성을 줄입니다. 또한, 챔버에는 필름을 입금하는 동안 웨이퍼를 효율적으로 적재 및 언로드 할 수있는 멀티 챔버 웨이퍼 (multi-chamber wafer) 처리 장비가 장착되어 있습니다. 또한 웨이퍼 처리 시스템 (wafer handling system) 을 사용하여 처리 중에 각 웨이퍼를 쉽게 모니터링하고 제어할 수 있습니다. 원자로는 또한 증착 과정에서 최대 균일성을 달성하기 위해 가스 흐름 (gas flow) 과 수송 매체를 정확하게 전달, 모니터링, 제어하는 통합, 컴퓨터 제어 현장 가스 전달 장치 (in-situ gas delivery unit) 를 갖추고 있습니다. Centura 5200 WxZ는 정밀도 기능이 향상된 강력한 고성능 머신입니다. 그것은 질화 갈륨 (GaN) 및 산화 갈륨 (GaO) 박막, 그리고 광전자 응용을위한 금속-산화물-반도체 (MOS) 구조를 포함하여 광범위한 제품에 대한 다양한 두께와 질감을 가진 필름을 증착 할 수 있습니다. 이 고급 도구를 사용하면 프로세스 반복성과 처리량을 높일 수 있습니다. Centura 5200 WxZ는 정확한 제어 기능 외에도 뛰어난 안정성과 내구성을 제공합니다. 이 자산은 가장 어려운 조건에서 뛰어난 작동을 위해 설계된 견고한 재료 (견고한 재료) 로 구성됩니다. 또한 고급 프로세스 제어 모델 (Advanced Process Control Model) 을 통해 사용자는 매개변수를 실시간으로 보다 쉽게 모니터링하고 수정할 수 있으므로 항상 최적의 성능을 얻을 수 있습니다. 전반적으로 AMAT Centura 5200 WxZ WCVD 원자로는 씬 필름 (Thin Film) 을 배치하고 다양한 어플리케이션에 대한 탁월한 프로세스 반복성을 달성하기위한 안정적이고 강력한 장비입니다. 고급 웨이퍼 처리 시스템 (Advanced Wafer Handling System) 과 정밀한 가스 전달 장치 (Gas Delivery Unit) 를 통해 사용자는 최대 반복성으로 균일 한 및 등각 필름을 달성 할 수 있습니다. 그 기계 의 우수 한 "빌드 '질 은 또한 가장 어려운 상태 를 견디기 도 할 수 있는 튼튼 하고 내구력 있는 장비 가 되게 한다." 에이.
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