판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 Ultima #9355275
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ID: 9355275
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2000
HDP CVD System, 8"
NBLL Loadlock
HP Buffer robot
Chambers type:
Chamber A: Ultima STD
Chamber B: Ultima TE
Chamber C: Ultima STD
Chamber E: MSC
Chamber F: Orient
Missing parts:
Remote AC Rack
RF Rack
Cable
2000 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 Ultima Reactor는 재료 과학에서 연구 및 산업 응용 프로그램의 까다로운 요구 사항을 충족하도록 설계된 고급 수정 성장 장비입니다. 이 시스템은 에피 택시 성장 공정 (epitaxial growth process) 에서 높은 수율로 하이엔드 성능을 약속하고 온도 균일성, 예외적 사이클 반복성 및 매우 낮은 산소 수준을 제공합니다. 센츄라 (Centura) 는 조절 된 질소 가스 공급 (gas gas supply) 에 의해 공급되는 한 쌍의 고성능 확산 펌프로 구동되며, 광범위한 전구체 재료를 처리 할 수 있습니다. 그것은 공통 전송 챔버에 의해 연결된 2 개의 독립적 인 공정 챔버로 만들어집니다. 한 방은 성장에 전념하고, 다른 방은 샘플의 청소, 로드 및 언로드에 할당됩니다. 이체 챔버 (transfer chamber) 는 둘 사이의 완충제 역할을하므로 챔버 사이에 안전하고 효율적인 가스 타이트 웨이퍼 이동이 가능합니다. AMAT Centura 5200 Ultima의 각 챔버에는 자체 가스 및 온도 조절 장치가 장착되어 있습니다. 각각 200C ~ 1000C 범위의 자체 온도 컨트롤러와 정밀한 흐름 속도 제어 및 독립 가스 흐름 조절을위한 16 개의 고정밀 질량 흐름 컨트롤러 (16 개의 고정밀 질량 흐름 컨트롤러) 가 있습니다. 정밀 제어기 (precision controller) 를 사용하면 전체 프로세스 주기 동안 흐름 속도를 조절 할 수 있습니다. Centura는 단단한 온도 균일성 창을 유지할 수 있습니다. Centura의 고급 성능은 고급 설계 때문입니다. 안전성과 신뢰성을 위해 원자로 (Reactor) 에는 예기치 않은 이벤트가 발생하면 프로세스를 일시 중지하는 중복형 (Redundant Shutdown) 머신이 제공됩니다. 이 도구는 주로 진공 봉인되어 오염 위험을 줄입니다. 또한, 에셋에는 사전 저장 된 프로세스 프로토콜을 허용하는 자동 설정 기능이 있습니다. 이것은 자동화 및 인건비에 유용합니다. 센츄라 (Centura) 의 최고 성능 및 신뢰성은 재료 과학의 고급 연구 및 산업 응용을위한 이상적인 선택입니다. 이 모델의 성능은 최첨단 설계와 첨단 엔지니어링 (Advanced Engineering) 에 기반을두고 있으며, 요구 사항이 까다로운 고객에게는 탁월한 선택입니다.
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