판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 Super-E #9116891

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 Super-E는 화학 증기 증착 (CVD) 및 금속 화학 증기 증착 (MOCVD) 과 같은 다양한 에피 택시 공정에 사용되는 고성능, 순도, 에피 택시 원자로입니다. 이 원자로는 인상적인 기술 사양을 자랑하며, 최대 65nm/분까지 성장할 수 있으며, 최고의 비용 효율을 제공합니다. AMAT Centura 5200 Super-E epitaxial Reactor의 디자인은 실리콘, 게르마늄, 갈륨 비소 등 다양한 재료를 처리하기위한 안정적이고 효율적인 도구입니다. 원샷 스타일 서셉터 리프트 (one-shot style susceptor lift) 를 통해 다운타임을 최소화하면서 최대의 수익률과 품질을 제공합니다. 감수기는 원자로 내 성장 지대에서 더 많은 균일 성을 허용하기 위해 상승한다. APPLIED MATERIALS Centura 5200 Super-E 에피 택시 (Super-E epitaxial) 원자로는 원자로 내에서 가스 전달의 우수한 균일성을 제공하기 위해 배치 된 일련의 수 소화물 가스 분사 포트를 특징으로합니다. 이를 통해 LED (Power Electronics), 광자 (Photonics), 전자 및 무선 통신에 이르기까지 다양한 응용프로그램에 가장 높은 품질의 기판을 확장할 수 있습니다. Centura 5200 Super-E 에피 택시 원자로는 또한 맞춤형 고온 수직 석영 인젝터 (Vertical Quartz Injector) 를 갖추고 있으며, 프로세스 속도 및 제품 수익률 향상, 안전 및 신뢰성 향상을 위해 설계되었습니다. 이 "인젝터 '는 고온" 가스' 를 정확 하게 전달 하고 제어 할 수 있게 해 주며, 질화물 "실리콘 '수동물 과 같은 응용 에 흔히 있다. 탁월한 성장 감성을 위해 AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 Super-E 에피 택시 원자로에는 레이저 기반 온도 감지 장비가 장착되어 있습니다. 고유 한 온도 감지 시스템 (Temperature Sensing System) 은 지속적인 성장률을 유지하여 사용되는 기판이나 프로세스 매개변수에 관계없이 일관된 프로세스 결과를 초래합니다. 에피 택시 (epitaxial) 원자로에는 통합 된 초저진동 장치가 있으며, 이는 강렬한 진동의 경우에도 일관된 성장 성능을 보장합니다. 이 기계는 생성 된 열량을 줄여 기판 및 웨이퍼 품질을 향상시킵니다. AMAT Centura 5200 Super-E epitaxial reactor는 epitaxial 성장 및 기타 응용 분야를위한 다재다능하고 신뢰할 수있는 도구입니다. 원자로의 인상적인 기능은 다양한 응용프로그램 (application) 에 적합하며 실험실 (laboratory) 과 생산 (production) 설정에 모두 적합합니다. 높은 처리량과 저렴한 비용으로 품질과 효율성이 가장 중요한 고급 어플리케이션 (Advanced Application) 에 적합합니다.