판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura 5200 Super-E #293659851

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 Super-E는 반도체 제조 공정의 웨이퍼 및 기타 기판에 박막을 형성하는 데 사용되는 플라즈마 강화 화학 증기 증착 (PECVD) 원자로의 한 유형입니다. 높은 처리량, 뛰어난 균일성, 정확한 제어 및 낮은 소유 비용이 특징 인 AMAT Centura 5200 Super-E 원자로는 프로세스 시간을 줄이고 품질을 개선하려는 제조업체에게 인기있는 선택이되었습니다. APPLIED MATERIALS Centura 5200 Super-E는 원격 플라즈마 소스를 사용하여 먼저 하전 입자의 플라즈마를 생성하여 작동합니다. 그 다음 에 이 "플라즈마 '를 원자로 의 반응" 챔버' 로 끌어 넣어 동시 에 도입 된 화학 전구체 와 상호 작용 시킨다. 전구체 들 은 "플라즈마 '가" 챔버' 를 통해 끌어오면서 기판 에 서서히 퇴적 되는 원하는 얇은 "필름 '을 만드는 데 반응 을 보인다. Centura 5200 Super-E 원자로는 사용자가 여러 가지 다른 플라즈마 소스와 전구체에 대한 다른 화학 물질 중에서 선택할 수 있도록 함으로써 많은 유사한 PECVD 시스템보다 더 큰 유연성을 제공합니다. 이를 통해 초박형 트랜지스터용 폴리실리콘 (polysilicon) 과 회로를 단열하고 보호하는 데 사용되는 다양한 유전체 필름 (dielectric film) 을 포함하여 다양한 처리 가능한 재료가 가능합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Centura 5200 Super-E 원자로는 또한 정사각형 평면 또는 "평면" 플라즈마 공명 결합 기술로 인해 프로세스 균일성이 향상되었습니다. 이 "시스템 '에서" 플라즈마' 는 "웨이퍼 '나 기판 의 전체 표면 에 걸쳐 균일 한 RF 동력 분배 를 사용 하여 약실 내 에 유지 되어, 그 과정 중 에 보다 균일 한 물질 증착 을 한다. 또한 AMAT Centura 5200 Super-E는 처리량 및 프로세스 효율성 향상을 위해 설계되었습니다. 최대 25 개의 개별 품목을 보관할 수있는 순차적 쇼어 헤드 웨이퍼 (showerhead wafer) 를 사용하여 웨이퍼를 빠르게 로드 및 언로드할 수 있습니다. 이는 증착의 품질을 손상시키지 않고 전체 프로세스를 가속화합니다. 전체적으로 APPLIED MATERIALS Centura 5200 Super-E는 높은 처리량, 뛰어난 균일성, 공정 효율성, 다양한 처리 가능한 재료 때문에 반도체 제조에 적합한 선택 사항입니다. 또한 신뢰성이 높고 비용 효율성이 뛰어나며, 예산에 이상적인 선택입니다.